Bestimmung der Modulationstransferfunktion einer CCD-Kamera ...
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1.4 Rauschprozesse<br />
1.4 Rauschprozesse<br />
Nach Kenntnis <strong>der</strong> physikalischen Funktionsweise eines Detektors sind die inhärenten Rauschprozesse<br />
<strong>einer</strong> <strong>CCD</strong>-<strong>Kamera</strong> von Bedeutung, da sich diese störend auf das zu messende Signal<br />
(Bild) auswirken. Sie glie<strong>der</strong>n sich zunächst in räumlich systematische und zeitlich zufällige<br />
Komponenten.<br />
Die im Szintillator generierten Photonen erzeugen beim Auftreffen auf den Halbleiter Photoelektronen.<br />
Die bei konstanter Bestrahlung entstehende, zeitliche Verteilung <strong>der</strong> ursprünglichen<br />
Elektronen ist maßgebend für die auf die Pixel einfallenden Photonen. Dabei sind die Wahrscheinlichkeiten,<br />
mit <strong>der</strong> die Elektronen auf ein Pixel τ <strong>der</strong> Gatan-<strong>CCD</strong> treffen, unabhängig<br />
voneinan<strong>der</strong>. Da ein Elektron o<strong>der</strong> ein erzeugtes Photon entwe<strong>der</strong> auf ein Pixel trifft o<strong>der</strong> nicht<br />
wird diese Situation auch mit einem Bernoulli-Experiment beschrieben. Dieses wird dann durch<br />
den Einfall von N Elektronen entsprechend oft wie<strong>der</strong>holt. Die Wahrscheinlichkeit, dass ein<br />
Elektron auf das Pixel τ trifft, wird mit pτ bezeichnet und ist wie folgt Poisson-verteilt [26]<br />
pτ(λτ) = λnτ τ<br />
nτ! e−λτ . (1.6)<br />
Es werden dann nτ Elektronen registriert. Die einfallenden Elektronen schwanken um den Mittelwert<br />
λτ und haben die Varianz σ 2 = λτ. Das Produkt von pτ · N = λτ ist dabei zeitlich<br />
konstant. Diese diskrete Aufzeichnung des Messsignals und <strong>der</strong> damit verbundene, statistische<br />
Charakter wird als Poisson-Rauschen bezeichnet.<br />
Ein weiterer Rauschbeitrag wird durch das elektronische Rauschen hervorgerufen [25], was<br />
sowohl systematisch räumliche als auch zeitlich zufällige Komponenten enthält. Es setzt sich u.a.<br />
aus einem Dunkelstrom und einem Verstärkerrauschen zusammen. Die mit <strong>der</strong> Zeit auftretende<br />
Schwankung des Dunkelstromanteils hat seine Ursache in <strong>der</strong> Lichtempfindlichkeit des <strong>CCD</strong>s<br />
und folgt auch <strong>einer</strong> Poisson-Verteilung [26].<br />
Des Weiteren liegt systematisches und räumliches Rauschen vor, was durch Unterschiede in<br />
den einzelnen <strong>CCD</strong>-Pixeln hervorgerufen wird, d.h. jedes Pixel hat bei homogener Belichtung<br />
eine individuelle Charakteristik. Diese räumliche Variation kann jedoch mit Referenzbil<strong>der</strong>n korrigiert<br />
werden [26], wodurch das Rauschen maßgeblich durch die zeitabhängigen Rauschprozesse<br />
charakterisiert wird und damit eine Poisson-verteilte Natur hat [21].<br />
1.5 Optisch relevante Ebenen im Transmissionselektronenmikroskop<br />
Nachdem die wichtigsten Komponenten des TEMs erläutert wurden, wird nun <strong>der</strong> Blick auf<br />
die optisch relevanten Ebenen, die sich zwischen Objekt und Bild befinden, gerichtet und <strong>der</strong>en<br />
mathematische Verknüpfung untereinan<strong>der</strong> betrachtet.<br />
Die Elektronen durchlaufen entlang <strong>der</strong> optischen Achse in z-Richtung diverse Bild- und Brennebenen<br />
im Mikroskop, bevor sie als Bild o<strong>der</strong> Beugungsbild auf dem Schirm o<strong>der</strong> <strong>der</strong> <strong>CCD</strong>-<br />
<strong>Kamera</strong> beobachtet werden. In den sukzessiv passierten Ebenen lassen sich verschiedene Bil<strong>der</strong><br />
<strong>der</strong> Objektaustrittswellenfunktion ψ(r) beobachten und untersuchen (s. Abb. 1.6). Aus <strong>der</strong> skalaren<br />
Beugungstheorie ist bekannt (s. Abschn. 2.3), dass mit dem Verwenden <strong>einer</strong> Sammellinse<br />
(hier die Objektivlinse) die FT <strong>der</strong> Objektaustrittswellenfunktion F {ψ(r)} in <strong>der</strong> hinteren<br />
Brennebene (Fourier-Ebene) vorliegt (s. Abb. 1.6). Diese erfährt dort aufgrund <strong>der</strong> aus Abschn.<br />
1.3.2 bekannten Aberrationen <strong>der</strong> Objektivlinse eine Phasenverschiebung. Dies geschieht in <strong>der</strong><br />
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