Bestimmung der Modulationstransferfunktion einer CCD-Kamera ...

y (px)
50
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150
200
50 100 150 200
x (px)
(a) Eckbereich einer simulierten Superzelle
von GaAs.
y (px)
6.2 Durchführung und Auswertung
10
20
30
40
50
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10 20 30
x (px)
40 50 60
(b) Einheitszelle der Superzelle.
Abbildung 6.2: Simulierte HRTEM-Bilder für GaAs mit einer Probendicke 30nm und einem Defokus
−16nm (ohne Apertur). (a) illustriert die linke obere Ecke einer 10×10 Einheitszellen großen Superzelle.
Die dargelegten linken und oberen Ränder zeigen eine Abdunkelung und Verzerrung der Kristallstruktur,
welche die Translationsinvarianz stört. (b) zeigt eine 60px × 60px große Einheitszelle der Superzelle.
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(a) Probendicke 30 nm mit den Kontrasten von links nach rechts: c = 0, 42, c = 0, 41 und c = 0, 31.
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(b) Probendicke 140 nm mit den Kontrasten von links nach rechts: c = 0, 52, c = 0, 34 und c = 0, 15.
Abbildung 6.3: 2 × 2-Einheitszellen der abgebildeten und simulierten GaAs-Kristalle mit den Dicken 30
nm (a) und 140 nm (b). Die Abbildungen (a) erfolgten mit ǫ = −16nm und die in (b) mit ǫ = −20nm.
Für beide Abbildungen wurden die Aperturradien 6,8nm −1 (links) und 14,8nm −1 (mitte) sowie ohne
Apertur (rechts) berechnet. Der Kontrast nimmt zu größeren Aperturen hin ab.
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