Bestimmung der Modulationstransferfunktion einer CCD-Kamera ...

6 Kontrastbestimmung von simulierten Gallium-Arsenid-Proben
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y (px)
y (px)
20
40
60
80
100
120
20
40
60
80
100
120
Kontrast c
20 40 60
x (px)
80 100 120
20 40 60 80 100120
x (px)
0.6
0.5
0.4
0.3
0.2
0.1
y (px)
20
40
60
80
100
120
20 40 60
x (px)
80 100 120
y (px)
20
40
60
80
100
120
(a) GaAs-Probe mit Dicke 30nm und ohne MTF.
y (px)
20
40
60
80
100
120
20 40 60 80 100120
x (px)
y (px)
20
40
60
80
100
120
(b) GaAs-Probe mit Dicke 30 nm und mit MTF.
0
0 20 40 60 80
Apertur (nm −1 )
20 40 60
x (px)
80 100 120
20 40 60 80 100120
x (px)
Sim.: d=20nm
Sim.: d=40nm
Sim.: d=130nm
Sim.: d=140nm
Sim.: d=150nm
Sim.: d=30nm
Exp.: d=30nm
(c) Kontrastverlauf für sechs Dicken über den Aperturradius r mit MTF. Der Kontrast
nimmt für alle Dicken mit steigendem Aperturradius ab. Die simulierte Dicke von 30nm
ist als magenta farbige Kurve und die experimentellen Werte als gleichfarbige Kreuze dargestellt.
Es zeigt sich für weiterhin ein Stobbs-Faktor von 1,44 für 6, 8 nm −1 .
Abbildung 6.6: (a) zeigt ohne MTF und (b) mit MTF die Simulation von HRTEM-Bildern eines GaAs-
Kristalls für d = 30nm, ǫ = −16nm mit den Aperturen 6,8nm −1 , 14,8nm −1 sowie ohne Apertur. Der
Kontrast in (b) ist deutlich geringer als in (a). Die Auftragung in (c) legt die mit der MTF und mit
steigendem Aperturradius einhergehenden Kontrastminderung dar.