mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...
mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...
mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
5. VIENPOLIŲ PLANARIŲJŲ SILICIO KMOP TRANZISTORIŲ GAMYBOS TECHNOLOGINIŲ PROCESŲ PROJEKTAVIMAS IR ANALIZĖ<br />
deposit name.resist=AZ1350J thickness=0.5 div=1<br />
layout lay.clear x.low=-10.5 z.low=-4.0 x.high=-5.75<br />
z.high=4.0<br />
layout x.low=-4.25 z.low=-4.0 x.high=4.25 z.high=4.0<br />
layout x.low=5.75 z.low=-4.0 x.high=10.5 z.high=4.0<br />
image win.x.lo=-10.5 win.x.hi=10.5 win.z.lo=-4.25<br />
win.z.hi=4.25 dx=0.05 clear<br />
expose dose=150<br />
bake time=100 sec temp=120<br />
develop mack time=90 steps=15<br />
# material material=AZ1350J gamma.reflo=2e2 reflow<br />
visc.0=1.862e-13 visc.E=1.85<br />
# bake time=10 min temp=120 reflow<br />
rate.etch machine=BPSG_Etch material=AZ1350J n.m<br />
rie directional=1.4<br />
rate.etch machine=BPSG_Etch material=BPSG n.m rie<br />
directional=70<br />
rate.etch machine=BPSG_Etch aluminum n.m rie directional=5<br />
etch machine=BPSG_Etch time=8.0 minutes<br />
# Likusio fotorezisto pašalinimas<br />
etch name.resist=AZ1350J all<br />
# Gautos struktūros saugojimas<br />
structure outfile=lithography_14.str<br />
# Gautos struktūros atvaizdavimas<br />
tonyplot -st lithography_14.str -set settings.set<br />
# TiN barjerinio sluoksnio dengimas<br />
109
Change language