mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...

TURINYS
Turinys
Įvadas .............................................. 5
1. Bendrieji nurodymai ............................... 11
2. Vienpolių planariųjų silicio KMOP tranzistorių gamybos
technologijų ypatumai ...................... 19
3. Dvipolių tranzistorių gamybos technologinės sekos .... 58
4. Technologinių procesų modeliavimo programinės
priemonės ....................................... 71
5. Vienpolių planariųjų silicio KMOP tranzistorių gamybos
technologinių procesų projektavimas ir analizė .. 75
6. Dvipolių tranzistorių gamybos technologinių procesų
projektavimas ir analizė ...................... 120
Apibendrinimas .................................... 142
Literatūra .......................................... 144
Priedai ............................................ 145
1. TonyPlot tekstinis nustatymų settings.set failas ......... 145
2. TonyPlot tekstinis nustatymų CMOS_settings.set failas .. 147
3. TonyPlot tekstinis nustatymų BJT_settings.set failas ..... 149
3