mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...
mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...
mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
TURINYS<br />
Turinys<br />
Įvadas .............................................. 5<br />
1. Bendrieji nurodymai ............................... 11<br />
2. Vienpolių planariųjų silicio KMOP tranzistorių gamybos<br />
technologijų ypatumai ...................... 19<br />
3. Dvipolių tranzistorių gamybos technologinės sekos .... 58<br />
4. Technologinių procesų modeliavimo programinės<br />
priemonės ....................................... 71<br />
5. Vienpolių planariųjų silicio KMOP tranzistorių gamybos<br />
technologinių procesų projektavimas ir analizė .. 75<br />
6. Dvipolių tranzistorių gamybos technologinių procesų<br />
projektavimas ir analizė ...................... 120<br />
Apibendrinimas .................................... 142<br />
Literatūra .......................................... 144<br />
Priedai ............................................ 145<br />
1. TonyPlot tekstinis nustatymų settings.set failas ......... 145<br />
2. TonyPlot tekstinis nustatymų CMOS_settings.set failas .. 147<br />
3. TonyPlot tekstinis nustatymų BJT_settings.set failas ..... 149<br />
3
Change language