mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...

5. VIENPOLIŲ PLANARIŲJŲ SILICIO KMOP TRANZISTORIŲ GAMYBOS TECHNOLOGINIŲ PROCESŲ PROJEKTAVIMAS IR ANALIZĖ
structure outfile=lithography_3.str
# Gautos struktūros atvaizdavimas
tonyplot -st lithography_3.str -set settings.set
Po jonų implantacijos dažniausiai yra naudojama terminė
difuzija. Mat jonų implantacija naudojama tiksliai dozuotam su
geru atkartojamumu priemaišų įterpimui, o difuzija – priemaišų
perskirstymui (angl. drive-in). Be to, jos metu pašalinami radiaciniai
defektai, aktyvuojamos priemaišos, gaunamas reikalingas
priemaišų pasiskirstymo profilis ir reikalingo gylio pn sandūros.
Priemaišų perskirstymo programinis kodas yra toks:
# Priemaišų perskirstymas
# Trijų pakopų ciklas: kaitinimo, laikymo, aušinimo
diff time=30 temp=1000 t.final=1100 nitro press=1.0
diff time=180 temp=1100 nitro press=1.0
diff time=30 temp=1100 t.final=1000 nitro press=1.0
# Gautos struktūros saugojimas
structure outfile=drive_in.str
# Gautos struktūros atvaizdavimas
tonyplot -st drive_in.str -set settings.set
Puslaidininkinė Si plokštelė po n ir p laidumo kišenių implantavimo
bei priemaišų perskirstymo pavaizduota 5.2 paveiksle.
85