mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...

4. TECHNOLOGINIŲ PROCESŲ MODELIAVIMO PROGRAMINĖS PRIEMONĖS
galima Deckbuild lange, pasirinkus Edit→Preference→Working
Directory komandų seką.
Athena programa skirta puslaidininkinių (ir ne tik) įtaisų gamybos
technologijoms modeliuoti. Ja galima skaičiuoti epitaksiją,
oksidavimą, difuziją, jonų implantaciją, litografiją, ėsdinimą,
dengimą, metalizaciją ir kitas puslaidininkinių įtaisų gamybos
technologijas. Taigi brangūs eksperimentai su realiomis plokštelėmis,
pakeičiami kompiuteriniu modeliavimu – taip darbas tampa
gerokai našesnis, nes atliekami spartūs ir tikslūs visų kritinių
gamybos žingsnių skaičiavimai, taikant KMOP ir (arba) dvipolių
Si, SiGe/SiGeC, SiC, SOI, III–V, optoelektronikos ir galios įtaisų
technologijas.
4.1 pav. Deckbuild programos langas
Atlas programa skirta modeliuoti įvairių puslaidininkinių,
optoelektroninių, organinių, lazerinių, feroelektrinių bei kitų
72