mikroschemÃ…Â³ technologijÃ…Â³ analizÃ„Â— - Vilniaus Gedimino technikos ...

More documents

Recommendations

Info

2. VIENPOLIŲ PLANARIŲJŲ SILICIO KMOP TRANZISTORIŲ GAMYBOS TECHNOLOGIJŲ YPATUMAI 10 000 Specifinė varža, W×cm 10 000 1000 100 10 1 0.1 0.01 p tipo n tipo 0.001 0.0001 10 12 10 13 10 14 10 15 10 16 10 17 10 18 10 19 10 20 10 21 Priemaišų koncentracija, cm -3 2.6 pav. Si specifinės varžos priklausomybė nuo akceptorių ir donorų koncentracijos (T = 300 K) Daugeliui KMOP integrinių grandynų technologijų Si p tipo plokštelių kristalo orientacija yra (100) ir specifinė varža nuo 5 iki 50 Ω×cm, o tai atitinka 2,0×10 15 –2,0×10 14 cm -3 legiravimo lygį p tipo priemaišomis (2.6 pav.). 2.2 lentelė. Reikalavimai Si plokštelėms KMOP technologijose Parametrai 100 mm 125 mm 150 mm 200 mm 300 mm Storis (siuntoje), μm 525 ± 20 625 ± 20 675 ± 20 725 ± 20 775 ± 20 Storio nuokrypis plokštelėje (TTV), 3 3 2 1.5 1 μm Įlinkis, μm 20–30 18–35 20–30 10–30 10–20 Nuokrypis nuo plokštumos, μm < 3 < 2 < 1 0,5–1 0,5–0,8 Deguonis, 10 -6 (ppma) 20 17 15 14 12 29
2. VIENPOLIŲ PLANARIŲJŲ SILICIO KMOP TRANZISTORIŲ GAMYBOS TECHNOLOGIJŲ YPATUMAI Parametrai 100 mm 125 mm 150 mm 200 mm 300 mm OISF, cm −2 100–200 100
Page 1 and 2: Romualdas NAVICKAS Vaidotas BARZDĖ
Page 3 and 4: R. Navickas, V. Barzdėnas. Mikrosc
Page 6 and 7: ĮVADAS Įvadas Jau sukako 50 metų
Page 8 and 9: ĮVADAS Taigi žodį nanotechnologi
Page 10 and 11: ĮVADAS fotolitografiją, plėveli
Page 12 and 13: 1. BENDRIEJI NURODYMAI 1. Bendrieji
Page 14 and 15: 1. BENDRIEJI NURODYMAI Sunkumai ren
Page 16 and 17: 1. BENDRIEJI NURODYMAI projektų sk
Page 18 and 19: 1. BENDRIEJI NURODYMAI 6. Tekste ne
Page 20 and 21: 2. VIENPOLIŲ PLANARIŲJŲ SILICIO
Page 60 and 61: 3. DVIPOLIŲ TRANZISTORIŲ GAMYBOS
Page 72 and 73: 4. TECHNOLOGINIŲ PROCESŲ MODELIAV
Page 74 and 75: 4. TECHNOLOGINIŲ PROCESŲ MODELIAV
Page 80 and 81:
5. VIENPOLIŲ PLANARIŲJŲ SILICIO
Page 82 and 83:
Page 84 and 85:
Page 86 and 87:
Page 88 and 89:
Page 90 and 91:
Page 92 and 93:
Page 94 and 95:
Page 96 and 97:
Page 98 and 99:
Page 100 and 101:
Page 102 and 103:
Page 104 and 105:
Page 106 and 107:
Page 108 and 109:
Page 110 and 111:
Page 112 and 113:
Page 114 and 115:
Page 116 and 117:
Page 118 and 119:
Page 120 and 121:
Page 122 and 123:
6. DVIPOLIŲ TRANZISTORIŲ GAMYBOS
Page 124 and 125:
Page 126 and 127:
Page 128 and 129:
Page 130 and 131:
Page 132 and 133:
Page 134 and 135:
Page 136 and 137:
Page 138 and 139:
Page 140 and 141:
Page 142 and 143:
Page 144 and 145:
APIBENDRINIMAS paslėptojo sluoksni
Page 146 and 147:
PRIEDAI Priedai 1. TonyPlot tekstin
Page 148 and 149:
PRIEDAI 2. TonyPlot tekstinis nusta
Page 150 and 151:
PRIEDAI 3. TonyPlot tekstinis nusta
show all

mikroschemÃ…Â³ technologijÃ…Â³ analizÃ„Â— - Vilniaus Gedimino technikos ...

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

Delete template?

Save as template?