mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...
mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...
mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
4. TECHNOLOGINIŲ PROCESŲ MODELIAVIMO PROGRAMINĖS PRIEMONĖS<br />
4. Technologinių<br />
procesų modeliavimo<br />
programinės priemonės<br />
Naujų puslaidininkinių įtaisų kūrimas reikalauja daug žmogiškųjų<br />
išteklių, gamybos procesų kaštų bei laiko sąnaudų. Todėl<br />
neišvengiamai naudojamos kompiuterinės programos, suteikiančios<br />
galimybę suprojektuoti puslaidininkinius įtaisus, sumodeliuoti<br />
jų technologinius gamybos procesus ir gautus elektrinius<br />
parametrus, nenaudojant brangių ir ilgų technologinių gamybos<br />
eksperimentų.<br />
Technologiniams procesams ir įtaisams modeliuoti gerai tinka<br />
Silvaco universitetinis programinių paketų rinkinys TCAD<br />
OMNI. Šis programinis paketas susideda iš keturių pagrindinių<br />
programų: Deckbuild, Athena, Atlas ir TonyPlot, kurias trumpai<br />
apžvelgsime.<br />
Deckbuild yra Silvaco TCAD programinio paketo paprogramių<br />
rašymo ir vykdymo aplinka (angl. Runtime Environment).<br />
Šios programos langas pavaizduotas 4.1 paveiksle. Jis yra sudarytas<br />
iš dviejų dalių: viršutiniame įvesties lange yra rašomos<br />
Athena ir / arba Atlas paprogramės, o apatiniame vykdymų (angl.<br />
execution and “extract” information) lange yra stebimi skaičiavimų<br />
parametrai bei rezultatai. Parašytos paprogramės yra vykdomos<br />
pasirinkus Deckbuild programos lange Execution→Run<br />
komandų seką arba paspaudus Run mygtuką.<br />
Pastaba: prieš pradedant rašyti paprogrames, būtina nurodyti<br />
darbinį katalogą, kuriame bus talpinami visi modeliavimo<br />
rezultatų bei suformuotų puslaidininkinių įtaisų failai. Tai atlikti<br />
71
Change language