mikroschemÃ…Â³ technologijÃ…Â³ analizÃ„Â— - Vilniaus Gedimino technikos ...

More documents

Recommendations

Info

4. TECHNOLOGINIŲ PROCESŲ MODELIAVIMO PROGRAMINĖS PRIEMONĖS įtaisų elektrines, optines bei termines charakteristikas. Atlas paprogramės dažniausiai vykdomos gavus Athena modeliavimo rezultatus, t. y. jau turint sukurtą projektuojamo įtaiso struktūrą. Tačiau ir Atlas programa galima sudaryti norimą struktūrą. Atlas programoje projektuojamas įtaisas yra sudalinamas į sritis, kurios aprašomos tokiais parametrais: nurodoma srities medžiaga, laidumo tipas, priemaišų koncentracijos ir kiti būtini parametrai. Toks metodas yra mažiau tikslus nei atliekant technologinių procesų sekas, tačiau sutrumpinama skaičiavimų trukmė. 4.2 pav. TonyPlot programos langas 73
4. TECHNOLOGINIŲ PROCESŲ MODELIAVIMO PROGRAMINĖS PRIEMONĖS TonyPlot yra vienmačių (1D) bei dvimačių (2D) vaizdų vizualizavimo programa. Deckbuild programos lange įvykdžius Athena ir / arba Atlas paprogrames, gautos puslaidininkinės struktūros ir / arba jų elektrinės charakteristikos pavaizduojamos TonyPlot programa. Šios programos langas su KMOP tranzistoriais (žr. 5 skyrių) yra pavaizduotas 4.2 paveiksle. TonyPlot programa gali pavaizduoti puslaidininkinę struktūrą sudarančias medžiagas, priemaišų pasiskirstymą jose, pn sandūrų gylius, elektrinių laukų kryptis bei kitus parametrus. Gautų puslaidininkinių struktūrų vaizdai gali būti išsaugoti jpg, bmp, png arba kitais taškinės grafikos formatais. Šioje programoje taip pat galima susikurti vaizdavimo nustatymų failą, kuris leis tolimesnių modeliavimų metu gauti vieningus vaizdus (žr. 1, 2 bei 3 priedus). 74
Page 1 and 2:
Romualdas NAVICKAS Vaidotas BARZDĖ
Page 3 and 4:
R. Navickas, V. Barzdėnas. Mikrosc
Page 6 and 7:
ĮVADAS Įvadas Jau sukako 50 metų
Page 8 and 9:
ĮVADAS Taigi žodį nanotechnologi
Page 10 and 11:
ĮVADAS fotolitografiją, plėveli
Page 12 and 13:
1. BENDRIEJI NURODYMAI 1. Bendrieji
Page 14 and 15:
1. BENDRIEJI NURODYMAI Sunkumai ren
Page 16 and 17:
1. BENDRIEJI NURODYMAI projektų sk
Page 18 and 19:
1. BENDRIEJI NURODYMAI 6. Tekste ne
Page 20 and 21:
2. VIENPOLIŲ PLANARIŲJŲ SILICIO
Page 22 and 23:
2. VIENPOLIŲ PLANARIŲJŲ SILICIO
Page 24 and 25: 2. VIENPOLIŲ PLANARIŲJŲ SILICIO
Page 60 and 61: 3. DVIPOLIŲ TRANZISTORIŲ GAMYBOS
Page 72 and 73: 4. TECHNOLOGINIŲ PROCESŲ MODELIAV
Page 124 and 125:
6. DVIPOLIŲ TRANZISTORIŲ GAMYBOS
Page 126 and 127:
Page 128 and 129:
Page 130 and 131:
Page 132 and 133:
Page 134 and 135:
Page 136 and 137:
Page 138 and 139:
Page 140 and 141:
Page 142 and 143:
Page 144 and 145:
APIBENDRINIMAS paslėptojo sluoksni
Page 146 and 147:
PRIEDAI Priedai 1. TonyPlot tekstin
Page 148 and 149:
PRIEDAI 2. TonyPlot tekstinis nusta
Page 150 and 151:
PRIEDAI 3. TonyPlot tekstinis nusta
show all

mikroschemÃ…Â³ technologijÃ…Â³ analizÃ„Â— - Vilniaus Gedimino technikos ...

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?