mikroschemų technologijų analizė - Vilniaus Gedimino technikos ...

ĮVADAS
Mikroelektronika lėmė labai sparčią elektronikos pramonės
plėtrą visame pasaulyje. Jeigu automobilių pramonėje būtų tokia
pati greita pažanga, tai Rolls Royce kainuotų apytikriai tik
25 JAV centus, nuvažiuotų daugiau kaip 125 000 km, naudodamas
tik 1 litrą benzino, ir turėtų tokią galią, kokią turi okeaninis
laineris Queen Elizabeth II!
Žmonijos istorijoje nėra kitos pramonės šakos, kuri tokiu
milžinišku greičiu keistų pasaulio ekonomiką ir visuomenę.
Kaip matyti iš 1 lentelės, mikroelektronika nuo šio amžiaus
pradžios perėjo į nanoelektronikos erą, t. y. galima tvirtinti, kad
nanotechnologijos taikomos elektronikos pramonėje, o ne tik
moksliniuose tyrimuose, kaip daugelyje kitų technikos sričių.
Panagrinėkime terminą nanotechnologijos. Jis sudarytas iš
dviejų dėmenų: nano- ir technologijos. Abu šie dėmenys kilę iš
graikų kalbos. Žodis nannos, išvertus iš graikų kalbos, reiškia
„nykštukas, neūžauga“, moksle ir technikoje dėmuo nano- reiškia
vieną milijardinę (10 –9 ) kieno nors dalį, pvz., vienas nanometras
(nm) sudaro vieną milijardinę metro dalį. Palyginimui priminkime,
kad žmogaus plauko storis yra apytikriai šimtą tūkstančių
kartų didesnis.
Terminas technologija yra kilęs iš dviejų graikiškų žodžių:
techne – „menas, meistriškumas, mokėjimas“ ir logos – „mokslas“,
t. y. technologija yra mokėjimo, meistriškumo mokslas.
Tarptautinių žodžių žodynuose technologija apibrėžiama kaip
gamybos procesų atlikimo būdų ir priemonių visuma. Žodžiu
technologija vadinami ir aprašai, kuriuos sudaro technologinės
kortelės, instrukcijos ir kt.; taip vadinama ir mokslinė disciplina,
nagrinėjanti mechaninių, cheminių, fizikinių ir kt. reiškinių
ypatumus, jų poveikį naujiems, efektyvesniems technologiniams
procesams kurti. Technologinis procesas – tai tokia gamybos
proceso dalis, kai tikslingais veiksmais keičiamas darbo objektas
ir (arba) nustatoma jo būsena.
6