Ważną obserwacją okazało się, że w trzeciej podstrefie z<strong>na</strong>jduje się średnio 1,5 atomów Mnw odległości 2,71 Å. Z badań tych wywnioskowano, że mangan w tej próbce wykazujetendencję do formowania związków typu MnSi, jed<strong>na</strong>kże te nie tworzą się ze względu <strong>na</strong> zbytniską koncentrację Mn. W przypadku niewygrzanej próbki Cz-Si implantowanej Mn +do zimnego podłoża, a<strong>na</strong>liza nie potwierdziła istnienia manganu w sąsiedztwie centralnegoatomu absorbującego, a jedynie wykazała obecność średnio 6,2 atomów Si w odległości2,42 Å, co pozwoliło wnioskować o tym, że temperatura podłoża podczas implantacjima wpływ <strong>na</strong> tworzenie się uporządkowanej struktury wokół jonów Mn.Kolejne opisane przez dr Annę Wolską badania dotyczyły pojedynczej próbkiFz-Si implantowanej Mn + do gorącego podłoża, a <strong>na</strong>stępnie wygrzanej w temperaturze 610 K,w ciśnieniu p A = 10 5 Pa [111]. Wyniki badań próbki przy użyciu techniki EXAFS,w zestawieniu z widmem referencyjnym MnSi potwierdziły istnienie 6-7 atomów Siw pierwszej i drugiej strefie koordy<strong>na</strong>cyjnej wokół Mn, oraz 1-2 atomów Mn w trzeciejstrefie. Wyciągnięto wniosek, że mangan nie może lokować się w strukturze w sposóbprzypadkowy tylko dąży do łączenia się w klastery MnSi. Badania XAFS potwierdziły także,że mangan nie tworzy tlenków.Najobszerniejszą grupę próbek poddano a<strong>na</strong>lizie w pracy [112], gdzie zbadano widmaabsorpcyjne rozmaitych wygrzanych próbek Cz-Si:Mn (implantacja zarówno do zimnegojak i do gorącego podłoża) oraz próbek Fz-Si:Mn (implantacja do gorącego podłoża).A<strong>na</strong>lizowano próbki wygrzane w temperaturach od 550 K do 1270 K zarówno w ciśnieniuatmosferycznym (p A = 10 5 ), jak i w wysokim ciśnieniu (p A = 1.1×10 9 Pa). Czas <strong>wygrzewania</strong>był jed<strong>na</strong>kowy dla wszystkich próbek i wynosił t A = 1 h. W pracy tej dużą uwagę poświęconomodelowi związku MnSi. Przy użyciu techniki XANES oraz oprogramowania FEFF 8.4przeprowadzono a<strong>na</strong>lizę dopasowań różnorodnych faz tych związków: Mn 3 Si, Mn 5 Si 2 ,Mn 5 Si 3 , Mn 15 Si 26 do wybranej próbki Si:Mn – Fz-Si:Mn, T A = 1070 K, przy czym wybór tenbył przypadkowy, gdyż widma XANES dla wszystkich próbek Si:Mn są bardzo podobne.Najbardziej pasującym modelem do widma doświadczalnego okazał się związek Mn 15 Si 26 .Faza ta, jest przedstawicielem rodziny związków określanej mianem HMS („HigherManganese Silicides”), do której <strong>na</strong>leżą także Mn 11 Si 19 , Mn 27 Si 47 i Mn 4 Si 7 , charakteryzującąsię tym, że stosunek Si/Mn zawiera się w przedziale 1,70-1,75. Wynik ten jest pewnympotwierdzeniem m.in. dla badań dyfrakcyjnych z użyciem dyfrakcji poślizgowej (rozdział 3),w którym fazę MnSi powstającą w procesie rekrystalizacji warstwy zaimplantowanejzidentyfikowano jako Mn 4 Si 7 . Jest także zgodność z danymi literaturowymi [30,31]. Z koleiobliczenia widma teoretycznego EXAFS wyko<strong>na</strong>ne dla każdej z czterech wymienionych faz- 114 -
HMS wykazały, że przy pomocy tej techniki nie jest możliwe rozróżnienie tych faz, czyliw konsekwencji wskazanie tej konkretnej powstającej w badanych próbkach Si:Mn.A<strong>na</strong>liza widma EXAFS wyko<strong>na</strong><strong>na</strong> <strong>na</strong> widmach otrzymanych z pomiarów próbekSi:Mn wszystkich trzech typów i wygrzewanych w różnych warunkach temperaturyi ciśnienia potwierdziła <strong>na</strong> wstępie, że lokalne otoczenie atomów wokół centralnego atomurozpraszającego manganu zależy głównie od temperatury podłoża podczas implantacji oraztemperatury poimplantacyjnego <strong>wygrzewania</strong> [112]. Tym samym stwierdzono,co wielokrotnie podkreślano w niniejszej rozprawie, że podwyższone ciśnienie stosowanepodczas <strong>wygrzewania</strong> ma znikomy wpływ <strong>na</strong> zmiany strukturalne badanych próbek.Dopasowania EXAFS wyko<strong>na</strong>ne były tym razem z uwzględnieniem zarównopierwszej jak i drugiej strefy koordy<strong>na</strong>cyjnej [112]. Dla wszystkich typów próbek, otrzyma<strong>na</strong>średnia liczba atomów Si będących <strong>na</strong>jbliższymi sąsiadami dla atomu centralnego zawarła sięw przedziale od 6 do 8. Dla kryształów, w przypadku których widocz<strong>na</strong> była druga strefakoordy<strong>na</strong>cyj<strong>na</strong>, średnia odległość atomów Si była rzędu 2,38 Å (dokładne wartościstabelaryzowane zostały w pracy [112]), podczas gdy dla pozostałych próbek, dla którychwidocz<strong>na</strong> była tylko pierwsza strefa, odległość wyniosła ok. 2,44 Å. Wyjątkiem od tegozachowania były próbki implantowane do gorącego podłoża i wygrzane w temperaturze870 K, gdzie z widma widać, że druga strefa zaczęła się dopiero tworzyć. Wywnioskowanotutaj, że decydujący wpływ <strong>na</strong> kreację wydzieleń MnSi ma temperatura podłoża podczasimplantacji.Dla próbek tych przeprowadzono również a<strong>na</strong>lizę magnetycznego dichroizmukołowego (XMCD, „X-Ray Magnetic Circular Dichroism”) w celu sprawdzenia, czy manganjest odpowiedzialny za własności magnetyczne próbek Si:Mn. Spektroskopia XMCDzmierzo<strong>na</strong> <strong>na</strong> krawędzi absorpcji L dla manganu i w temperaturach od pokojowej do ok. 80 Kwykazała, że atomy manganu nie są źródłem ferromagnetyzmu. Wywnioskowano, że źródłatych własności <strong>na</strong>leży upatrywać w defektach sieci Si spowodowanych implantacją lubw defektach powstałych <strong>na</strong> interfejsach pomiędzy wydzieleniami MnSi a matrycą krzemową.10.3. Podsumowanie wyników badań absorpcyjnych próbek Si:MnW poprzednim rozdziale opisano badania absorpcyjne próbek Si:Mn przeprowadzoneprzy użyciu technik XANES i EXAFS przez grupę dr Anny Wolskiej z Instytutu Fizyki PAN.Przedmiotem a<strong>na</strong>lizy było lokalne otoczenie wokół atomów manganu rozpraszających wiązkępromieni X. Otrzymane widma absorpcyjne zestawiono z teoretycznymi krzywymi, dzięki- 115 -
- Page 1:
INSTYTUT FIZYKI POLSKIEJ AKADEMII N
- Page 7 and 8:
1. Wprowadzenie do tematyki badań
- Page 10 and 11:
zastosowanego w procesie poimplanta
- Page 12 and 13:
2. Preparatyka, obróbka oraz proce
- Page 14 and 15:
0∫R = S(E)dE(2.1)pE0gdzie: S - zd
- Page 16 and 17:
∂cJ = −D(2.2)∂xgdzie: D - wsp
- Page 18 and 19:
yć wygięcie bloku krystalicznego,
- Page 20:
Stosowany w naszym eksperymencie uk
- Page 24 and 25:
natomiast drugi, w pozycji 53,58°,
- Page 26 and 27:
i 1270 K pojawiają się dodatkowe
- Page 28 and 29:
Rys. 3.8. Dyfraktogramy próbek Cz-
- Page 30 and 31:
z odpowiadającymi im krzywymi dla
- Page 32 and 33:
Fz-Si:Mn (T S = 610 K), po wygrzani
- Page 34 and 35:
3.4.1. Parametry sieci wydzieleń M
- Page 36 and 37:
zastosowanego ciśnienia hydrostaty
- Page 38 and 39:
4. Badania próbek Si:Mn z zastosow
- Page 40 and 41:
to ilość wystarczająca dla uzysk
- Page 42 and 43:
4.2.2. Wpływ temperatury wygrzewan
- Page 44 and 45:
Rys. 4.5. Profile głębokościowe
- Page 46 and 47:
Rys. 4.7. Profile głębokościowe
- Page 48 and 49:
Profile głębokościowe Mn dla pr
- Page 50 and 51:
5. Badanie struktury defektowej Si:
- Page 52 and 53:
W praktyce dużo wygodniejsze jest
- Page 54 and 55:
Dyfraktometr Philips MRD wyposażon
- Page 56 and 57:
zachodzi zjawisko dyfrakcji, można
- Page 58 and 59:
dyfrakcyjnej. Pomiar krzywej odbić
- Page 60 and 61:
Rys. 5.9. Schemat mapowania węzła
- Page 62 and 63:
Występowanie defektów punktowych
- Page 64 and 65: temperatury, a także ciśnienia. R
- Page 66 and 67: Rys. 5.12. Mapy węzła 004 sieci o
- Page 68 and 69: w płaszczyznach {110} dość dobrz
- Page 70 and 71: Rys. 5.15. Mapy węzła 004 sieci o
- Page 72 and 73: Rys. 5.18. Mapy węzła 004 sieci o
- Page 74 and 75: Wykonane symulacje numeryczne map w
- Page 76 and 77: Rys. 6.1. Ogólny schemat budowy tr
- Page 78 and 79: próbkom wygrzewanym w ciśnieniu p
- Page 80 and 81: o wielkości do kilkudziesięciu nm
- Page 82 and 83: (a) (b) (c)Rys. 6.5. Zdjęcia TEM d
- Page 84 and 85: → →Π (m, n) - bezwymiarowy czy
- Page 86 and 87: Zmienna C jest tzw. „siłą” de
- Page 88 and 89: Wilsona był obecny. Zatem podjęto
- Page 90 and 91: Obliczone i przedstawione w tabeli
- Page 92 and 93: propagacji promieniowania rentgenow
- Page 94 and 95: Si:Mn, pokazano, że dla próbek ni
- Page 96 and 97: Rys. 8.1. Dyfraktogramy I(2θ/ω) w
- Page 98 and 99: Rys. 8.4. Dyfraktogramy I(2θ/ω) w
- Page 100 and 101: Rys. 8.5. Dyfraktogram I(2θ/ω) wo
- Page 102 and 103: na to, że przyczyną takiego stanu
- Page 104 and 105: 9.2. Wyniki pomiarów magnetycznych
- Page 106 and 107: Rys. 9.3. Krzywe namagnesowania (zn
- Page 108 and 109: Rys. 9.4. Krzywe namagnesowania (be
- Page 110 and 111: wynika, że parametry sieci wydziel
- Page 112 and 113: emitowanego promieniowania charakte
- Page 116 and 117: którym określono liczbę, rodzaj
- Page 118 and 119: Badanie rentgenowskiego rozpraszani
- Page 120 and 121: Literatura[1] T. Dietl, Postępy Fi
- Page 122 and 123: [38] J. Bak-Misiuk, P. Romanowski,
- Page 124 and 125: [73] M. A. Krivoglaz, „Theory of
- Page 126 and 127: [113] M. Klepka, „Wyznaczanie sk
- Page 128 and 129: 10. A. Misiuk, A. Barcz, J. Bąk-Mi
- Page 130: 27. E. Dynowska, J. Bąk-Misiuk, P.