Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

Stosowany w naszym eksperymencie układ pomiarowy, to wspomnianysześciokołowy dyfraktometr, wyposażony m.in. w dwa detektory NaI(Tl) (w tym jedenpomocniczy do kontroli natężenia wiązki padającej), układ ruchomych szczelin przeddetektorem, dzięki któremu zwiększa się dokładność pomiaru kątów Bragga, oraz uchwytna próbkę. Goniometr umożliwia obrót mierzonej próbki w szerokim zakresie kątów orazprzesunięcie wzdłuż dowolnej osi. Na fotografii 3.2 pokazany jest końcowy fragment układupomiarowego (dyfraktometr). W centralnej części zdjęcia widać element goniometruzakończony uchwytem, który umożliwia pochylanie i przesuwanie próbki. Z lewej stronyznajduje się ramię goniometru odpowiedzialne za ruch licznika, wraz z zestawem ruchomychszczelin. Z prawej strony zaś widać okienko dla wyjścia wiązki monochromatycznychpromieni X oraz obudowany układ absorberów oraz szczelin kształtujących wiązkę padającą.Rys. 3.2. Układ do pomiarów dyfrakcyjnych na stacji W1.3.2. Geometria pomiaruW badanych próbkach Si:Mn spodziewana jest kreacja polikrystalicznych faz,a ponieważ warstwa zaimplantowana jest stosunkowo cienka (rzędu 50 nm), stądw klasycznym modzie 2θ/ω koncentracja krystalitów byłaby zbyt mała aby zostałazarejestrowana dyfrakcyjnie. W celu zwiększenia efektywnej liczby krystalitów biorącychudział w dyfrakcji zastosowano metodę dyfrakcji poślizgowej („glancing incidencediffraction”), w której monochromatyczna wiązka promieni X pada pod niewielkim kątem- 20 -