Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

manganu znajduje się na głębokości ok. 225 nm – obserwujemy dyfuzję manganu w głąbkryształu, spowodowane prawdopodobnie zmianą struktury defektowej w wynikuwygrzewania w temperaturze 1270 K.Rys. 4.6. Profile głębokościowe Mn dla próbek Fz-Si:Mn (T S = 610 K):„as-implanted” (a); T A = 610 K (b); T A = 1070 K (c); T A = 1270 K (d).4.2.5. Wpływ wysokociśnieniowego wygrzewania na profile głębokościowe Mn dlapróbek Si:MnPrzy pomocy techniki SIMS zmierzono również profile głębokościowe Mn dla próbekSi:Mn wygrzanych w podwyższonym ciśnieniu p A = 1.1×10 9 Pa. Krzywe te, zestawione z ichwysokociśnieniowymi odpowiednikami dla wybranych temperatur wygrzewania, pokazanona rysunkach 4.7 – 4.9.Jak widać z rysunków 4.7 i 4.8, w przypadku próbek implantowanych do podłożaotrzymanego metodą Czochralskiego (Cz-Si:Mn), wysokie ciśnienie zastosowane podczaswygrzewania ma znikomy wpływ na kształt krzywej rozkładu manganu w zależnościod głębokości. Widać jedynie sporadycznie minimalne różnice w wysokościach krzywychlub też niewielkie zmiany ich nachylenia, nawet w przypadku próbek wygrzanych w 1270 K(krzywe (c) i (d)). Można zatem wnioskować, że wysokie ciśnienie zastosowane podczaswygrzewania nie zapobiega wydyfundowaniu manganu na zewnątrz kryształu.- 45 -