Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

Dyfraktometr Philips MRD wyposażony jest w lampę rentgenowską z anodąmiedzianą będącą źródłem promieniowania X i ogniskiem punktowym 1x1 mm 2 . Typowewarunki pracy tej lampy to: 40 mA (prąd anody) oraz 35 kV (napięcie przyspieszające).Wykorzystywana do pomiarów długość fali promieniowania charakterystycznego liniiCu Kα1 wynosi λ = 1,54056 Å. Rozbieżna kątowo wiązka formowana jest przy użyciuczteroodbiciowego monochromatora Bartelsa wykonanego z dwóch wyciętych kanałowokryształów germanu, z płaszczyzną odbijającą 220. Następnie monochromatyczna wiązkaprzechodzi przez parę standardowych szczelin regulujących przekrój poprzeczny wiązki:szczeliny poziome (o zmiennej szerokości do 3 mm) oraz pionowe (o stałej szerokości0,5 mm).Rys. 5.4. Schemat możliwych ruchów uchwytu próbki oraz ramienia detektoraprzy użyciu dyfraktometru Philips MRD.Goniometr dyfraktometru Philips MRD umożliwia wykonywanie dyfrakcjiw geometrii odbiciowej. Jego konstrukcja pozwala na przesuwanie próbki umocowanejna specjalnym talerzowym uchwycie wzdłuż osi x, y, z, oraz jej obrót o kąt ψ (wokół osi x),ω (wokół osi y) i ϕ (wokół osi z). Przesuw wzdłuż osi x i y ma na celu odpowiednieustawienie próbki w stosunku do wiązki, natomiast ruch wzdłuż osi z umożliwia badaniepróbek o różnej grubości. Obrót ω, zgodnie z wcześniejszymi oznaczeniami, umożliwiazmianę kąta ustawienia próbki w stosunku do padającej wiązki, czyli innymi słowy pozwalazmieniać kąt padania wiązki na powierzchnię kryształu. Podczas badania odbić od danejpłaszczyzny ważne jest, aby była ona ustawiona możliwie jak najdokładniej prostopadle- 54 -