Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

i 1270 K pojawiają się dodatkowe piki, pochodzące od fazy Mn 4 Si 7 (odpowiednio krzywe (c),(d) i (e)). Jak widać, najsilniej uwidoczniona faza Mn 4 Si 7 jest dla krzywej dyfrakcyjnej próbkiwygrzanej w 1070 K (krzywa (d)), co pozwala wysnuć wniosek o tym, że taka temperaturawygrzewania jest najbardziej optymalna dla uzyskania polikrystalicznej fazy Mn 4 Si 7w próbkach Cz-Si implantowanych Mn + do gorącego podłoża.Jednak najwyraźniejszą różnicą w strukturze próbek tych i analogicznych próbekCz-Si:Mn, implantowanych w tej samej dawce, ale do zimnego podłoża (rozdział 3.3.2) jestfakt, że wygrzanie w tych samych warunkach temperatur, czasu i ciśnienia nie powodujepowstawania fazy polikrystalicznego krzemu. Powodem takiej sytuacji jest z pewnościąodbudowa struktury monokrystalicznej spowodowana zastosowaniem wysokiej temperaturypodłoża podczas implantacji.3.3.4. Wpływ temperatury wygrzewania na strukturę krystaliczną próbek Fz-Si:Mn(implantacja do gorącego podłoża)Przy pomocy pomiarów dyfrakcyjnych w geometrii poślizgowej zmierzono takżewłasności strukturalne próbek otrzymanych metodą wzrostu „Floating zone”(Fz-Si:Mn). Próbki te wygrzewane były także w czasie 1h, w ciśnieniu atmosferycznym.Zmiana charakteru krzywych dyfrakcyjnych w zależności od temperatury wygrzewania,pokazana jest na rysunku 3.7.Rys. 3.7. Dyfraktogramy próbek Fz-Si:Mn (T S = 610 K):„as-implanted” (a); T A = 610 K (b); T A = 870 K (c); T A = 1070 K (d); T A = 1270 K (e).- 26 -