Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

5. Badanie struktury defektowej Si:Mn przez analizę rozpraszania dyfuzyjnegopromieniowania X – mapowanie węzła sieci odwrotnej z zastosowaniemwysokorozdzielczej dyfraktometrii rentgenowskiejDla badań zmian kształtu rentgenowskiego rozpraszania dyfuzyjnego zastosowanotechnikę mapowania węzła sieci odwrotnej. Pomiary wykonano dla wszystkich typówomawianych próbek Si:Mn: począwszy od próbek „as-implanted”, aż po próbki wygrzanew różnych warunkach temperatury, wysokiego lub niskiego ciśnienia oraz czasu. Dziękianalizie izolinii rozpraszania dyfuzyjnego określono rodzaj i stopień zdefektowania badanychstruktur, co zostanie omówione w niniejszym rozdziale, także w odniesieniu do krzywychrozpraszania otrzymanych teoretycznie.5.1. Technika mapowania węzła sieci odwrotnej przy użyciu dyfraktometruwysokorozdzielczegoAby zachować odpowiedni porządek opisu, należy najpierw prześledzić podstawywysokorozdzielczej dyfraktometrii, poznać własności sprzętu pomiarowego oraz metodywykonywania skanów dyfrakcyjnych. Mapowanie węzłów sieci odwrotnej łączy ze sobąposzczególne techniki, takie jak pomiar krzywej odbić czy skan 2θ/ω, stąd dla zrozumieniamechanizmu powstawania map, wymagana jest znajomość zjawisk i metod dyfrakcyjnych.5.1.1. Elementy dyfrakcji rentgenowskiej dla przypadku odbiciowegoDyfraktometria rentgenowska jest szeroko wykorzystywaną, nieniszczącą technikądo pomiarów własności materiałów o strukturze krystalicznej. Jest rozwijanai z powodzeniem stosowana odkąd Max von Laue zauważył w 1912 r., że kryształz regularnie ułożonymi atomami może pełnić rolę siatki dyfrakcyjnej dla promieniowaniarentgenowskiego ze względu na to, że odległości międzyatomowe w krysztale są tego samegorzędu co długość fali promieniowania X [53,65-69]. Dzięki wykorzystaniu tej własności orazudoskonaleniu technik badawczych, dziś dyfraktometria rentgenowska pozwala na uzyskanieinformacji dotyczących: zmiany, wartości i rozrzutu parametrów sieciowych, dezorientacje płaszczyzn krystalograficznych, wielkość ziaren w krysztale – badania struktur zmozaikowanych,- 50 -