Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

Rys. 6.1. Ogólny schemat budowy transmisyjnego mikroskopu elektronowego.Najczęściej stosowanym rodzajem pracy w transmisyjnym mikroskopie elektronowym(zwanym także prześwietleniowym) jest obserwacja preparatu w tzw. jasnym polu(BF, „Bright Field”). W tym przypadku przesłona obiektywu umieszczona jest takimpołożeniu, że przepuszcza jedynie pierwotną wiązkę elektronową. Drugim, rzadziejstosowanym rodzajem obserwacji jest praca w tzw. ciemnym polu (DF, „Dark Field”), kiedywiązka pierwotna jest zasłonięta, a przez przesłonę przepuszczana jest jedna lub więcejwiązek ugiętych, tworząc obraz dyfrakcyjny.Rejestracja lokalnych różnic w odchyleniu wiązki od warunku Bragga ma dużeznaczenie w tworzeniu obrazu w klasycznym transmisyjnym mikroskopie elektronowym,gdyż nie tylko umożliwia obrazowanie, lecz także pozwala na analizę defektów strukturykrystalicznej badanej próbki [82]. W połączeniu z obrazem dyfrakcyjnym otrzymujemyinformacje o położeniu i naturze krystalograficznej defektów niezależnie od ich położeniaw preparacie. Natomiast dzięki różnicom w czynnikach strukturalnych dla różnychmateriałów oraz różnicom w rozpraszaniu elektronów możliwe jest rozróżnianieposzczególnych faz w badanej próbce.- 76 -