Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

3. Dyfrakcyjne badania struktury defektowej próbek Si:Mn z zastosowaniemgeometrii poślizgowej i promieniowania synchrotronowegoW celu przeprowadzenia szczegółowej analizy strukturalnej przypowierzchniowej,zagrzebanej warstwy Si:Mn, posłużono się badaniami dyfrakcyjnymi z zastosowaniempromieniowania synchrotronowego. Własności promieniowania synchrotronowego, takie jakm.in. wysoka intensywność czy bardzo mała rozbieżność wiązki, umożliwiają detekcję bardzomałych wydzieleń, których nie da się zarejestrować przy użyciu laboratoryjnegodyfraktometru wyposażonego w konwencjonalną lampę rentgenowską. W rozdziale tym niezostaną opisane podstawy dyfrakcji rentgenowskiej – zostaną one omówione w rozdziale5.1.1.3.1. Stacja eksperymentalnaEksperyment przeprowadzony został w ciągu kilku sesji pomiarowych na stacji W1w laboratorium HASYLAB (Hamburger Synchrotronstrahlungslabor) w ośrodku DESY(Deutsches Elektronen-Synchrotron) w Hamburgu. Stacja ta, dedykowana jest przedewszystkim dla badań dyfrakcyjnych i spektroskopowych. Zakres dostępnych energii wiązki,które można wykorzystać w eksperymencie, zawiera się w przedziale 4 – 11,5 keV.Wyposażona jest m.in. w dwuodbiciowy monochromator krzemowy o orientacji 111,toroidalne zwierciadło skupiające wiązkę, zestaw ruchomych szczelin kształtujących wiązkę,attenuator umożliwiający redukcję intensywności przez umieszczanie na drodze wiązkiabsorberów, oraz sześciokołowy dyfraktometr [48]. Uproszczony schemat ideowy stacji W1znajduje się na rysunku 3.1.Rys. 3.1. Uproszczony schemat budowy stacji W1.- 19 -