Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

Rys. 5.9. Schemat mapowania węzła sieciowego w przestrzeni odwrotnej.Rezultatem pomiaru mapy węzła sieci odwrotnej jest mapa izokonturów (poziomic)natężenia w przestrzeni odwrotnej, odpowiadających różnym natężeniom wiązki ugięteji prezentowanych najczęściej jako kolejne rzędy wielkości w skali logarytmicznej. Ich analizapozwala na uzyskiwanie wielu informacji – począwszy od efektów rozrzutu parametrówsieciowych, przez m.in. wygięcie, zmozaikowanie, a na szczegółowej analizie zdefektowaniaskończywszy. Osie na mapie przestrzeni odwrotnej oznaczane są jako Q x i Q z– są to współrzędne wektora dyfrakcji Q → i obliczane w oparciu o współrzędne kątowe:2πQ x= ( cosϖ − cos( 2θ - ϖ))(5.4)λ2πQ z= ( sin ϖ + sin( 2θ - ϖ))(5.5)λQ x i Q z podawane są w jednostkach 2π/d hkl (1/Å), gdzie d hkl jest badaną odległościąmiędzypłaszczyznową. Początek układu współrzędnych umiejscowiony jest w węźle 000,który jest także punktem zaczepienia wektora Q → . Warto zauważyć także, że oś Q z mapydanego węzła sieci odwrotnej hkl jest zawsze równoległa do odpowiadającego wektora sieciodwrotnej→Qhkl. Pomimo tego, że w niniejszej pracy, wszystkie otrzymane doświadczalniemapy przestrzeni odwrotnej zaprezentowane zostaną w jednostkach Q x i Q z , częstow przypadku map sieci odwrotnej używane są współrzędne wektora odchylenia→q .Wprowadzenie tej wielkości jest przydatne dla rozważań w kolejnych rozdziałach. Wektorodchylenia, pokazany na rysunku 5.10, definiowany jest jako różnica wektora dyfrakcji Q→i wektora sieci odwrotnej Q :→hkl- 60 -