Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

Występowanie defektów punktowych lub konglomeratów tych defektów, powodująceprzesunięcia atomów z ich położeń w sieci idealnej. W odróżnieniu od domieszekpodstawieniowych, defekty te mają charakter lokalny – powodują niejednorodnezakłócenia sieci krystalicznej w pewnym obszarze kryształu. Istnienie pętli dyslokacyjnych, które są źródłem pól naprężeń w krysztale. Ich wpływna rozpraszanie dyfuzyjne zależy od płaszczyzn sieciowych, w których są rozmieszczone,od wartości ich wektorów Burgersa, od stałych elastycznych danego materiału orazod wymiarów pętli. Niedopasowania sieciowe (w przypadku struktur warstwowych) a także chropowatościpowierzchni lub interfejsów, powodujące powstawanie pól naprężeń odkształcających siećidealną.Dla opisu krzywych dyfrakcyjnych bliskich maksimum braggowskiego, czylio małych wartościach wektora odchylenia → q (rozpraszanie spójne) stosowana jest teoriadynamiczna dyfrakcji promieniowania X, opracowana w 1980 roku przez Kato [71,72],bazująca na równaniach Takagiego-Taupina. Jednak dla większych wartości wektora → q(rozpraszanie niespójne – dyfuzyjne) często stosowana jest kinematyczna teoria dyfrakcjiopisana w 1961 roku i rozwijana przez M. A. Krivoglaza [73,74] a następnie przezP. H. Dederichsa [75-77].Teoria kinematyczna stosuje model rozpraszania dyfuzyjnego bazujący na założeniu,że kryształ jest strukturą periodyczną, składającą się z sieci „średnich” atomów, na którąnakładają się fluktuacje składu i parametrów uporządkowania. Struktura periodycznapowoduje pojawianie się ugięć koherentnych, a rozpraszanie dyfuzyjne wynika z obecnościwspomnianych fluktuacji. Teoria kinematyczna zakłada także, że wiązka padająca na kryształjest falą płaską i nie podlega absorpcji oraz nie uwzględnia zmian długości fali λ w krysztale.Względne natężenia fal ugiętych na różnych płaszczyznach sieciowych zależą od typukomórki elementarnej, czyli od liczby i rodzaju atomów, oraz ich położenia względem siebie.Całkowite natężenie fali rozproszonej jest sumą natężenia braggowskiego(spójnego, I brag ) i dyfuzyjnego (niespójnego, I dyf ):I = I brag + I dyf (5.7)Natężenie braggowskie zdefiniowane jest jako:Natomiast natężenie dyfuzyjne wynosi:Ibrag= I∑0m,ne→ →− →*i Q(R m R n ) < Fm>< Fn>(5.8)- 62 -