Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

8.2.4. Symulacje krzywych I(2θ/ω) dla wybranych próbek Si:Mn i omówienie rozkładunaprężeńZ poprzedniego rozdziału wynika, że w badanych próbkach Si:Mn obserwujemy tylkodwa interesujące przypadki rozkładów naprężeń, które obrazują krzywe dyfrakcyjne I(2θ/ω)(rys. 8.1-8.4). Pierwszy z nich reprezentuje większość próbek wygrzewanychw temperaturach do 870 K oraz wszystkie próbki niewygrzewane („as-implanted”). Drugiprzypadek – szczególny, który obrazuje krzywa (b) na rysunku 8.2, otrzymany zostałdla próbki Cz-Si implantowanej Mn + do zimnego podłoża, a następnie wygrzanejw T A = 610 K (p A = 10 5 Pa, t A = 1h). W celu oszacowania rozkładu naprężeń dla obuprzypadków podjęto próbę dopasowania krzywej teoretycznej do krzywych doświadczalnychI(2θ/ω).Rysunek 8.5 przedstawia dopasowanie krzywej teoretycznej I(2θ/ω) obliczonejprzy użyciu oprogramowania X’Pert Epitaxy and Smoothfit (b) do krzywej doświadczalnejuzyskanej dla niewygrzanej próbki Cz-Si implantowanej Mn + do zimnego podłoża (a).Krzywa ta reprezentuje wspomniany wcześniej ogólny przypadek naprężeń, jakieobserwujemy dla wszystkich próbek „as-implanted”, wszystkich wygrzanych w temperaturze610 K (rys. 8.2-8.4, krzywe (a)) oraz dla próbek implantowanych do gorącego podłożai wygrzanych w temperaturze 870 K (rys. 8.3 i 8.4, krzywe (b)). Widać, że krzywateoretyczna (a) nie odpowiada idealnie krzywej doświadczalnej (b). Dzieje siętak ze wspomnianego wcześniej powodu, a mianowicie, że tego typu symulacje uzyskuje sięw oparciu o model warstwowy, przy czym algorytm programu zakłada, że interfejsymiędzywarstwowe są atomowo gładkie. Przy takim założeniu, na krzywej dyfrakcyjnejuzyskujemy prążki interferencyjne, których nie widać w realnym, niedoskonałym przypadku,gdy granice warstw nie są gładkie. Brak prążków interferencyjnych występujena dyfraktogramach I(2θ/ω) próbek Si:Mn, gdzie prążki te ulegają „rozmyciu”lub „wypłaszczeniu”. Jeśli czynnik ten weźmiemy pod uwagę to zauważymy, że krzywateoretyczna dość dobrze oddaje charakter krzywej otrzymanej w pomiarze.- 99 -