Wpływ warunków wygrzewania na strukturę defektowÄ krzemu ...

8. Badanie rozkładu naprężeń w próbkach Si:Mn z zastosowaniem symulacjikrzywych dyfrakcyjnych I(2θ/ω)W rozdziale 5, w którym omówiono badania struktury defektowej przy użyciumapowania węzłów sieci odwrotnej, wykazano istnienie poimplantacyjnych naprężeństruktury, które na mapach węzła 004 Si uwidaczniały się w postaci pewnego pasmanaprężeniowego, skierowanego wzdłuż osi Q z , po stronie mniejszych wartości od maksimumbraggowskiego. Naprężenia te powodują odkształcenia komórek elementarnych matrycy,stąd na dyfraktogramach I(2θ/ω), które są „przekrojem” węzła wzdłuż osi Q z , obserwujemyasymetrię piku podłożowego (po stronie mniejszych kątów 2θ), która informuje naso rozrzucie parametru sieci matrycy. Szczegóły dotyczące specyfiki pomiaru I(2θ/ω) podanezostały w rozdziale 5.1.3.Mając do dyspozycji otrzymane doświadczalnie dyfraktogramy I(2θ/ω) dla próbekSi:Mn, przeprowadzono symulacje dopasowania krzywych I(2θ/ω) obliczonych przy użyciustandardowego oprogramowania X’Pert Epitaxy and Smoothfit firmy PANalitycal,co w rezultacie pozwoliło na oszacowanie rozkładu naprężeń w badanych próbkach.Ponieważ efekty, o których mowa w tym rozdziale są wynikiem odbić spójnych(koherentnych), w związku z tym, metody obliczeniowe stosowane we wspomnianymprogramie korzystają z teorii dynamicznej dyfrakcji promieniowania X [92]. Analiza stanunaprężeń w próbkach Si:Mn ma istotne znaczenie przy charakteryzowaniu własnościfizycznych badanych próbek.8.1. Elementy teorii dynamicznej dyfrakcji promieniowania X dla kryształu o małejdeformacjiTeoria dynamiczna dyfrakcji promieniowania rentgenowskiego w odróżnieniuod teorii kinematycznej uwzględnia czynniki wpływające na natężenie wiązki ugiętej, takiejak: osłabienie wiązki (absorpcja), wielokrotne odbicie, oddziaływanie pomiędzy faląpadającą a rozproszoną, zmiany długości fali w krysztale (współczynnik załamania światła).Teoria ta, w formie opracowanej przez Lauego [93,94] a następnie rozwiniętej przez Authiera[72], Jamesa [95] oraz Battermana i Cole’a [96] zakłada, że fala płaska o nieskończonejszerokości pada na kryształ o pewnej grubości, która dla przypadku odbiciowego może byćnieskończona. Najbardziej ogólna teoria opisująca wszystkie zjawiska towarzyszące- 91 -