Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
Tableau 3-4 : Epaisseurs des dépôts de BTO réalisés au cours du plan d’expériences
2.2. Tests électriques
Echantillon Epaisseur (nm) ± 5 nm
1 192
2 184
3 105
4 90
5 96
6 35
7 89
8 55
9 149
10 146
11 94
Nous avons relevé les valeurs de la constante diélectrique en fonction de la température de
recuit pour les différents dépôts réalisés. Les courbes obtenues sont présentées en Figure 3-6
pour les échantillons du plan et en Figure 3-7 en ce qui concerne les expériences de
reproductibilité.
εεr
140
120
100
80
60
40
20
0
0 200 400 600 800
Trecuit (°C)
Figure 3-6 : Constante diélectrique des échantillons de BTO du plan en fonction de la température de
recuit.
Pour les faibles températures de recuit on retrouve la valeur de constante diélectrique du BTO
amorphe observée dans la littérature [4-7].
On observe aussi l’effet de la cristallisation du BTO sur la constante diélectrique : on a bien
une augmentation de celle-ci avec la température de recuit pour finalement atteindre un palier.
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