Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
3.4. Analyse avec le logiciel LUMIERE® : effet des paramètres sur la
température de transition
La température de transition faible/forte constante diélectrique varie également dans le cas du
STO mais dans une moindre mesure que pour le BTO. Le Tableau 3-15 reprend les valeurs de
température de recuit observées juste avant que la constante diélectrique ne commence à
augmenter.
Tableau 3-15 : Dernières températures de recuit avant l’augmentation de la constante diélectrique.
N° de
l’échantillon
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
Ttransition (°C) 325 325 325 425 275 375 325 275 400 300 375 325 325
3.4.1. 1 ère étude : prise en compte de tous les paramètres
Comme précédemment, l’analyse des résultats est tout d’abord effectuée en tenant compte des
cinq paramètres. Pour déterminer la loi donnant la température de transition faible/forte
constante diélectrique en fonction de ces facteurs, le logiciel doit déterminer six constantes si
on suppose un modèle linéaire sans interaction :
Ttr = a0 + a1.T + a2.VCP + a3.ICP + a4.DO2 +a5.Ep Equation 3-22
L’écart-type de mesure est nul car les cinq expériences de reproductibilité présentent la même
température de transition.
Le plan d’expériences est redondant et présente un écart-type résiduel σrésiduel = 16,1. Cet
écart-type a deux degrés de liberté (huit expériences – six coefficients à déterminer).
L’analyse des résultats par LUMIERE® indique que seule la température de dépôt a une
contribution non négligeable à la température de transition. Tous les autres paramètres ont des
coefficients inférieurs d’au moins deux ordres de grandeur à celui de la température de dépôt.
3.4.2. 2 ème étude : prise en compte d’un seul paramètre
Si l’on considère uniquement la température de dépôt, le plan d’expériences présente un écart-
type résiduel σrésiduel = 15,6. Cet écart-type a six degrés de liberté (huit expériences – deux
coefficients à déterminer).
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