Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
Tableau 3-6 : Valeurs des coefficients associés aux paramètres réduits du plan calculés par le logiciel
LUMIERE® - Cas de la constante diélectrique du BTO, paramètres influents pris en compte uniquement.
Coefficients et paramètres
associés
Valeurs
a0 (constante) 76,1375
a1 (T) 15,0209
a3 (IIAD) 9,3813
a4 (VCP) 9,1456
a6 (débit O2) 8,4274
a7 (épaisseur) 11,8904
On constate que cette fois, aucun coefficient n’est négligeable. La température reste le
paramètre le plus influent, suivie de l’épaisseur du dépôt.
2.3.3. Validation du plan d’expériences
Pour valider le plan d’expériences, on effectue une prédiction de la mesure ε0p au centre du
domaine d’étude d’après la loi de variation estimée par le logiciel. On utilise ensuite le test de
la moyenne pour comparer cette prédiction aux résultats expérimentaux obtenus.
On doit vérifier que pour chaque valeur ε0i de la constante diélectrique mesurée au centre du
domaine, on a :
ε t t ⋅σ
0 p − n ⋅σ
fus < ε 0i
< ε 0 p + n fus
Équation 3-12
Où tn est le coefficient de Student, qui dépend du degré de liberté n associé à l’écart-type de
l’étude. Ce coefficient peut être obtenu à partir d’abaques : t4 = 2,77.
Dans le cas de cette étude le test est vérifié, le modèle est donc validé.
La comparaison entre les valeurs de la constante diélectrique mesurées et estimées est donnée
dans la Figure 3-9. Le modèle permet de prédire les valeurs de la constante diélectrique dans
le domaine d’étude avec une erreur δ = t4*σfus = 13,1.
106