Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
Avec :
- dhkl, la distance entre les plans réticulaires (hkl) du réseau cristallin.
- θ, l’angle d’incidence des rayons X par rapport à la surface de l’échantillon.
- λ, la longueur d’onde du faisceau incident.
- n, un entier qui représente l’ordre du mode de diffraction.
Cette condition dépend de la distance entre les plans réticulaires du réseau cristallin. Ainsi
chaque famille de plans de distance interréticulaire dhkl est à l’origine d’un faisceau diffracté
sous un angle d’incidence unique.
L’intensité de l’onde diffractée est mesurée par un compteur Geiger disposé symétriquement à
la source X par rapport à la normale à l’échantillon.
Mode θ θ θ θ - 2θθθθ
La Figure 3-1 est une représentation schématique du fonctionnement d’un diffractomètre X.
Le principe du diffractomètre θ-2θ est de fixer la source de rayons X et de faire tourner le
compteur d’un angle 2θ lorsque le goniomètre qui porte l’échantillon tourne d’un angle θ. Un
balayage des angles θ est alors effectué. Lorsqu’un angle correspondant à une famille de plans
(hkl) dans les conditions de Bragg est atteint, le compteur enregistre une augmentation de
l’intensité réfléchie. Ainsi, la position des pics sur un diagramme de l’intensité réfléchie en
fonction de l’angle d’incidence θ est caractéristique du réseau cristallin.
La banque de données JCPDS-ICDD rassemble les spectres de diffractions X d’échantillons
de référence en poudre. A partir du spectre de diffraction X expérimental, il est possible de
retrouver l’orientation cristalline du composé étudié. Les fiches JCPDS des matériaux
analysés (STO, BTO, Pt) sont données en annexe 3.
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