Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 2 : Elaboration de films minces de STO et BTO
Figure 2-8 : Non-linéarité des courbes ε-E pour un film de SrTiO 3 accentuée lorsqu’on approche la
température de Curie. [9]
L’accordabilité augmente de façon notable lorsqu’on diminue la température de mesure et
qu’on s’approche de la température de Curie. Il faut tout de même noter que même à
température ambiante la linéarité n’est pas observée dans le cas du STO. Ce comportement
n’est pas caractéristique des couches minces mais révèle une propriété intrinsèque du
matériau.
2.1.5. Influence de la stœchiométrie
La structure pérovskite peut accepter des variations de la stœchiométrie sans être affectée
cristallographiquement. Il s’agit en général d’un excès ou d’une lacune d’oxygène qui se
traduit par la présence de porteurs de charge favorisant la conduction. Ainsi, pour les
applications diélectriques qui nécessitent un matériau parfaitement isolant, il faut avoir une
stœchiométrie parfaite en oxygène.
T diminue
Le rapport A/B d’une pérovskite ABO3 peut également varier. La littérature indique qu’une
variation de ce rapport influe sur la constante diélectrique [13-17]. La Figure 2-9 montre que
la constante diélectrique peut être quasiment divisée par deux lorsque l’on passe d’un dépôt à
peine sous-stœchiométrique à un rapport Sr/(Sr+Ti) égal à 0,43 environ. Ce rapport joue
également sur la variation de la constante diélectrique en fonction de la température [14].
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