Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
Les coefficients calculés par le logiciel LUMIERE® pour les variables réduites dans le cas du
calcul ne prenant en compte que la température de dépôt sont présentés dans le Tableau 3-16.
Tableau 3-16 : Valeurs des coefficients associés aux paramètres réduits du plan, calculées par le logiciel
LUMIERE® - Cas de la température de transition du STO, paramètres influents pris en compte
uniquement.
Coefficients et paramètres
associés
Valeurs
a0 (constante) 332,7
a1 (T) 56,2500
3.4.3. Validation du plan d’expériences
Le coefficient de Student associé à l’écart-type résiduel (il n’y a pas d’écart-type fusionné
dans ce cas, l’écart-type de mesure étant nul) est t = 2,4. Le logiciel permet de prédire les
valeurs de la constante diélectrique dans le domaine d’étude avec une erreur
δ = t*σrésiduel = 37,4. Le test de la moyenne est vérifié, le modèle est donc validé (Figure
3-16).
T tr (°C)
450
400
350
300
250
200
150
100
50
0
3 4 5 6 8 9 10 11 1 2 7 12 13
n° des échantillons
mesure
estimation
Figure 3-16 : Comparaison entre les températures de transition mesurées et estimées.
La loi de variation donnée par le plan d’expériences pour les variables non réduites est :
Où T est exprimée en °C.
Ttr = 281,25 + 0,9.T Équation 3-22
La température de transition faible/forte constante diélectrique augmente avec la température
de dépôt. Comme pour le BTO on peut supposer que le fait de déposer en température
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