Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 5 : Influence du procédé d’élaboration des capacités sur leurs performances
Leakage Current (A/cm²)
1,E-02
1,E-03
1,E-04
1,E-05
1,E-06
1,E-07
1,E-08
1,E-09
0,0
20 nm STO after curing
50 nm STO after curing
0,5
Electric Field (MV/cm)
Figure 5-5 : Comparaison des courants de fuite en fonction du champ électrique appliqué pour les deux
épaisseurs de STO.
Des observations MEB de la surface du STO ont été réalisées sur les deux échantillons
d’épaisseurs différentes (Figure 5-6).
Figure 5-6 : Observations MEB de la surface de l’empilement STO/Pt/TiO2/SiO2, a) 20 nm STO, b) 50 nm
STO.
Ces observations montrent que la rugosité des joints de grains augmente avec l’épaisseur de
STO déposée : la surface du STO de 20 nm est homogène (le matériau est cristallisé mais les
joints de grains ne sont pas visibles) alors que l’échantillon de 50nm de STO dévoile des
grains bien définis avec des joints de grains clairement visibles.
Notons que sur les deux images, la rugosité intra-grain est due à la métallisation effectuée
pour les observations MEB.
1,0
a b
185