Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Annexes
BTO
Annexe 2 : Conditions expérimentales de dépôt de STO et BTO
Facteurs
Expériences
STO
Expériences
T (°C) VIAD (V) IIAD (mA) VCP (V) ICP (mA)
Débit O2
(sccm)
Durée
dépôt
Référence
dépôt
1 25 200 40 1200 140 0 1h DBTO-211
2 25 400 20 1200 140 50 1h DBTO-212
3 25 400 20 1400 70 0 1h DBTO-213
4 25 200 40 1400 70 50 1h DBTO-214
5 87,5 300 30 1300 105 25 1h DBTO-215
6 150 400 40 1200 70 0 1h DBTO-216
7 150 200 20 1200 70 50 1h DBTO-217
8 87,5 300 30 1300 105 25 1h DBTO-218
9 150 200 20 1400 140 0 1h DBTO-219
10 150 400 40 1400 140 50 1h DBTO-220
11 87,5 300 30 1300 105 25 1h DBTO-221
Facteurs
T (°C) VCP (V) ICP (mA)
Débit O2
(sccm)
Durée dépôt
Référence
dépôt
1 87,5 1460 115 25 28min35s DSTO-311
2 87,5 1460 115 25 28min35s DSTO-312
3 25 1800 160 0 18min30s DSTO-313
4 150 1800 70 0 43min45s DSTO-314
5 25 1800 70 50 43min45s DSTO-315
6 150 1800 160 50 18min30s DSTO-316
7 87,5 1460 115 25 28min35s DSTO-317
8 25 1125 70 0 37min30s DSTO-318
9 150 1125 160 0 16min30s DSTO-319
10 25 1125 160 50 16min30s DSTO-320
11 150 1125 70 50 37min30s DSTO-321
12 87,5 1460 115 25 28min35s DSTO-322
13 87,5 1460 115 25 28min35s DSTO-323
250