Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
Les écarts-types mesuré et résiduel sont fusionnables. On suppose alors que les résultats
obtenus suivent une loi normale dont l’écart-type est σfus = 5,70. Le nombre de degrés de
liberté de l’écart-type fusionné est égal à 9.
Les coefficients calculés par le logiciel LUMIERE® pour les variables réduites dans le cas du
calcul ne prenant en compte que les deux paramètres cités précédemment sont présentés dans
le Tableau 3-14.
Tableau 3-14 : Valeurs des coefficients associés aux paramètres réduits du plan, calculées par le logiciel
LUMIERE® - Cas de la constante diélectrique du STO, paramètres influents pris en compte uniquement.
Coefficients et paramètres
associés
Valeurs
a0 (constante) 93,9125
a1 (T) 4,0625
a2 (VCP) -5,0375
3.3.3. Validation du plan d’expériences
Pour valider le plan d’expériences, on effectue une prévision de la mesure ε0p au centre du
domaine d’étude d’après la loi de variation modélisée. On utilise ensuite le test de la moyenne
pour comparer cette prédiction aux résultats expérimentaux obtenus.
Dans ce cas, le coefficient de Student est t9 = 2,3. Le test de la moyenne est vérifié, le modèle
est donc validé (Figure 3-15).
On vérifie que chaque valeur de la constante diélectrique mesurée est égale à la valeur estimée
plus ou moins l’erreur δ avec δ = 12,9.
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