Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 5 : Influence du procédé d’élaboration des capacités sur leurs performances
3. Influence du procédé d’élaboration des capacités MIM ..............................................199
3.1. Introduction ........................................................................................................199
3.2. Présentation de la technologie 100 mm ...............................................................199
3.2.1. Elaboration de l’empilement........................................................................200
3.2.2. Résultats électrique .....................................................................................202
3.3. Pourquoi une telle différence de constante diélectrique ?.....................................202
3.3.1. Expériences de compréhension....................................................................202
3.3.2. Caractérisation électrique ............................................................................203
3.3.3. Caractérisation physico-chimique................................................................204
3.3.4. Discussion...................................................................................................207
3.4. Conclusion..........................................................................................................207
4. Conclusion du chapitre ..............................................................................................209
Bibliographie......................................................................................................................210
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