Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...
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tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007<br />
Sommaire général<br />
Chapitre 4 : Li<strong>en</strong> <strong>en</strong>tre structure cristallographique et propriétés<br />
électriques..................................................................................................... 136<br />
1. Analyse <strong>de</strong>s courbes εr = f(Trecuit) : cas du STO................................. 138<br />
1.1. <strong>Etu<strong>de</strong></strong> préliminaire...........................................................................................138<br />
1.2. Spectrométrie EXAFS (Ext<strong>en</strong><strong>de</strong>d X-ray Absorption Fine Structure) : "Structure<br />
Fine d’Absorption X après seuil" ................................................................................142<br />
1.3. Réflectométrie <strong>de</strong> rayons X .............................................................................155<br />
1.4. Discussion – Conclusion .................................................................................161<br />
2. Effet <strong>de</strong>s contraintes dans le plan sur la constante diélectrique du BTO..<br />
......................................................................................................... 162<br />
2.1. Modèle <strong>de</strong> Pertsev...........................................................................................162<br />
2.2. Conditions expérim<strong>en</strong>tales ..............................................................................163<br />
2.3. Caractérisation cristallographique....................................................................164<br />
2.4. Conclusion......................................................................................................172<br />
3. Conclusion du chapitre ..................................................................... 173<br />
Bibliographie .............................................................................................. 175<br />
Chapitre 5 : Influ<strong>en</strong>ce du procédé d’élaboration <strong>de</strong>s <strong>capacités</strong> sur leurs<br />
performances................................................................................................ 178<br />
1. Influ<strong>en</strong>ce <strong>de</strong> l’épaisseur <strong>de</strong> diélectrique sur les caractéristiques<br />
électriques................................................................................................... 180<br />
1.1. Capacité surfacique et constante diélectrique...................................................180<br />
1.2. Courant <strong>de</strong> fuite...............................................................................................183<br />
1.3. Conclusion......................................................................................................188<br />
2. Influ<strong>en</strong>ce <strong>de</strong>s électro<strong>de</strong>s.................................................................... 189<br />
2.1. Préparation <strong>de</strong>s échantillons. ...........................................................................189<br />
2.2. C(V)................................................................................................................189<br />
2.3. I(V) .................................................................................................................192<br />
2.4. <strong>Etu<strong>de</strong></strong>s <strong>de</strong>s hauteurs <strong>de</strong> barrière .......................................................................196<br />
2.5. Conclusion......................................................................................................198<br />
3. Influ<strong>en</strong>ce du procédé d’élaboration <strong>de</strong>s <strong>capacités</strong> MIM .................... 199<br />
3.1. Introduction.....................................................................................................199<br />
3.2. Prés<strong>en</strong>tation <strong>de</strong> la technologie 100 mm............................................................199<br />
3.3. Pourquoi une telle différ<strong>en</strong>ce <strong>de</strong> constante diélectrique ?.................................202<br />
3.4. Conclusion......................................................................................................207<br />
4. Conclusion du chapitre ..................................................................... 209<br />
Bibliographie .............................................................................................. 210<br />
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