Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
Figure 6-24 : Profils chimiques (Ba, Sr, Pt) du multicouche (STO/BTO) 5 d’après l’analyse EELS.
Ceci a déjà été observé par Visinoiu et al. [25] lors de la croissance de multicouches
STO/BTO par PLD sur substrat STO orienté (001) comme le montre la Figure 6-25. En effet
on voit sur cette image MET que l’interface STO/BTO est plane alors que l’interface
BTO/STO est très rugueuse. Dubourdieu et al. [8] ont également observé des interfaces
différentes présentant une plus grande interdiffusion du Ba dans le STO sous-jacent que du Sr
dans le BTO sous-jacent.
Figure 6-25 : Coupe MET d’un multicouche STO/BTO épitaxié sur substrat STO [25].
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