Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 5 : Influence du procédé d’élaboration des capacités sur leurs performances
Après le recuit de guérison, la capacité surfacique de l’empilement Au/STO/Pt augmente
légèrement pour atteindre une valeur de 17,4 nF/mm² alors que celle de l’empilement
Pt/STO/Pt diminue pour atteindre la valeur de 15,2 nF/mm².
Notons également que les courbes ont toutes la même allure.
Capacité Surfacique (nF/mm²)
-0,8
Or
Pt
Inj Via Esup
-0,6
-0,4
-0,2
18
17
16
15
14
13
12
11
10
0,0
0,2
0,4
Champ Electrique appliqué (MV/cm)
0,6
+ recuit
de
guérison
Figure 5-10 : Caractéristiques C s(E) mesurées pour les échantillons ayant subi le recuit de cristallisation
du STO après dépôt de l’électrode supérieure (Au ou Pt).
La nature de l’électrode ainsi que le recuit de guérison n’ont que peu d’effet sur la valeur de la
capacité surfacique lorsque le recuit de cristallisation est réalisé après le dépôt de l’électrode
supérieure.
La Figure 5-11 présente l’évolution de la capacité surfacique avec le champ électrique
appliqué des échantillons pour lesquels l’électrode supérieure, Au ou Pt, a été déposée sur le
STO cristallisé.
Dans ce cas, les courbes n’ont plus la même allure, les capacités n’ayant pas subi de recuit de
guérison sont dégradées : les empilements Au/STO/Pt claquent aux alentours de 1,1 V (soit
0,25 MV/cm). La partie de la courbe la plus dégradée est la partie concernant les tensions
négatives qui correspond à l’injection des électrons depuis l’électrode supérieure. Cette
dégradation provient probablement du plasma présent lors du dépôt de l’électrode supérieure.
0,8
190