Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Annexes
de confiance. En résumé, plus ce rapport est grand et plus l’effet ai du facteur codé Xi est
important. L’effet devient significatif si le pourcentage de confiance dépasse 95%.
De plus, nous avons une information sur la validité globale du modèle linéaire grâce aux
essais réalisés au centre du domaine d’étude. Dans le cas d’un modèle linéaire parfait, la
réponse des essais réalisés au centre doit correspondre à la moyenne des réponses pour les
huit autres essais du plan d’expériences. La différence entre la réponse des essais au centre et
la moyenne des autres réponses est donc une information sur l’influence d’effets non-linéaires
(interactions, effets quadratiques,…). Bien sûr, il y a une marge de tolérance qui est donnée
par la loi de Student et qui dépend de l’écart-type résiduel, du nombre d’essais du plan et du
quantile choisi (en général, quantile à 95%).
Toute cette démarche est effectuée automatiquement à l’aide de logiciel tel que LUMIERE ou
Design Expert. Il suffit de renseigner les résultats des mesures pour les différentes réponses et
le logiciel procède à l’analyse statistique complète.
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