Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
au centre du domaine pour le STO. Le plan d’expériences réalisé pour l’optimisation du dépôt
de STO est donné dans le Tableau 3-3.
Dans les deux cas, les expériences de reproductibilité ont été intercalées entre les expériences
du plan proprement dit afin de rendre compte d’une possible dérive du bâti.
Nous nous sommes rendu compte que la réalisation de dépôts avec un débit d’oxygène nul
provoquait un noircissement de la cible. Nous avons donc décidé d’alterner des dépôts avec et
sans oxygène de manière à s’affranchir de cet effet.
Tableau 3-2 : Plan d’expériences pour l’optimisation du BTO
Facteurs
T VIAD IIAD VCP ICP Débit O2
Expériences
1 -1 -1 1 -1 1 -1
2 -1 1 -1 -1 1 1
3 -1 1 -1 1 -1 -1
4 -1 -1 1 1 -1 1
5 0 0 0 0 0 0
6 1 1 1 -1 -1 -1
7 1 -1 -1 -1 -1 1
8 0 0 0 0 0 0
9 1 -1 -1 1 1 -1
10 1 1 1 1 1 1
11 0 0 0 0 0 0
Tableau 3-3 : Plan d’expériences pour l’optimisation du STO
Facteurs
T VCP ICP Débit O2
Expériences
1 0 0 0 0
2 0 0 0 0
3 -1 1 1 -1
4 1 1 -1 -1
5 -1 1 -1 1
6 1 1 1 1
7 0 0 0 0
8 -1 -1 -1 -1
9 1 -1 1 -1
10 -1 -1 1 1
11 1 -1 -1 1
12 0 0 0 0
13 0 0 0 0
Les tableaux reprenant les conditions de dépôts réelles, ainsi que les durées et les références
de dépôts se trouvent en annexe 2.
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