Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Introduction générale
Les chapitres 4 et 5 sont dédiés à l’étude approfondie de l’influence de la microstructure de
nos matériaux (influence «intrinsèque » aux matériaux) et des procédés d’élaboration des
capacités (influence « extrinsèque » aux matériaux) sur les performances de nos capacités en
terme de température d’élaboration, de valeur de capacité et de courant de fuite.
Le chapitre 6 est consacré à l’élaboration et à la caractérisation des multicouches STO/BTO.
Un état de l’art sur ces multicouches est également présenté.
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