Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 4 : Lien entre structure cristallographique et propriétés électriques
Figure 4-8 : Simulation de la transformée de Fourier du spectre de l’échantillon déposé à température
ambiante non recuit entre 1,2 et 3,2 Å
Cet ajustement permet de définir la nature des proches voisins du Sr ainsi que leur distance au
Sr. Les premiers voisins du Sr sont des atomes d’O et les seconds voisins, des atomes de Ti.
Le Tableau 4-2 présente les résultats d’analyse des quatre échantillons amorphes en reprenant
le nombre d’O et de Ti entourant le Sr, la longueur des liaisons Sr-Ti et Sr-O ainsi que les
données théoriques concernant le STO cristallin pour comparaison.
Tableau 4-2 : Résultats des analyses EXAFS sur les échantillons amorphes (les données concernant les
STO cristallin sont données pour comparaison).
Echantillon Nombre d’O Distance Sr-O (Å) Nombre de Ti Distance Sr-Ti (Å)
Tamb non recuit 5,41 2,5093 2,32 3,3343
Tamb recuit 300°C 7,41 2,5209 1,69 3,3893
150°C non recuit 4,90 2,5023 2,79 3,2868
150°c recuit 375°C 5,36 2,5099 2,40 3,3253
STO cristallin (théorie) 12 2,7613 8 3,3819
On observe dans un premier temps que le nombre de proches voisins dans les échantillons
amorphes est bien plus faible que dans le STO cristallin.
Les deux amorphes semblent avoir des structures très proches. Le STO déposé à température
ambiante non recuit semble légèrement plus proche du STO cristallin que le STO déposé à
150°C mais sa structure reste toutefois très éloignée de la structure cristalline pérovskite.
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