Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
Le matériau semble homogène et sans cavité dans les couches et aux interfaces. Néanmoins,
on observe un léger contraste à l’interface STO/Pt suggérant la présence d’inclusions de faible
densité. On observe sur la Figure 6-17 que l’interface STO/Pt moins dense a une épaisseur de
6 nm environ. Si cette couche interfaciale est conservée après recuit, cela pourrait expliquer,
en partie, les valeurs de constante diélectrique peu élevées et confirmer le modèle de la
couche interfaciale présenté au chapitre 5.
Figure 6-16 : Clichés de micro-diffraction obtenues dans le multicouche (STO/BTO)2.
La Figure 6-16 présente les résultats de l’analyse de micro-diffraction effectuée sur notre
empilement. Le Si(110) a été utilisé comme référence pour calculer les distances entre plans
atomiques sur les différentes figures de micro-diffraction.
La distance correspondant à l’anneau qu’on observe sur les clichés de micro-diffraction se
situe entre 3,02 Å et 3,12 Å. L’anneau observé est diffus et la variation de paramètre peut être
associé au fait que STO et BTO ont des paramètres de maille différents une fois cristallisés.
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