Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Remerciements
Je remercie tout d’abord Messieurs Pascal ANCEY et Marc AÏD de m’avoir accueilli au sein
de leur groupe respectif : l’équipe Above IC de STMicroelectronics et le groupe Composants
Radio-Fréquence du CEA-LETI.
Je remercie Monsieur Christophe VALLEE, co-directeur de thèse avec Monsieur Olivier
JOUBERT au Laboratoire des Technologies de la Microélectronique, pour son encadrement,
son avis critique et ses bons conseils, particulièrement au cours de la rédaction de ce
manuscrit.
Je remercie tout particulièrement Monsieur Laurent ULMER qui a initié et encadré le début
de cette thèse ainsi que Monsieur Emmanuel DEFAY qui a pris la suite de l’encadrement
avec un investissement de tous les instants (même lors d’un rude week-end de décembre
2004 !). Merci pour tous vos conseils, la motivation et la confiance que vous avez su
m’apporter chacun à votre manière. Un grand merci aussi pour tous les bons moments passés
autour d’un thé, d’un gâteau…
Je remercie très sincèrement messieurs Philippe GAUCHER et Mario MAGLIONE d’avoir
accepté d’être les rapporteurs de mon travail de thèse.
Je remercie les techniciens de STMicroelectronics et du LETI, Denis PELLISSIER-TANON,
Stéphan AUBERT, David WOLOZAN, Fanny DELAGUILLAUMIE et Ludivine GALERA,
pour l’aide précieuse qu’ils m’ont apporté dans la réalisation de mes nombreux échantillons.
Je remercie Françoise BAUME, Pierre et Bernard ANDRE qui m’ont initié au dépôt par
pulvérisation par faisceau d’ions et m’ont été d’un grand soutien au cours de nos longues ( !)
manips de dépôt.
Un grand merci à toutes les équipes de caractérisation physico-chimiques et électriques du
LETI et de STMicroelectronics : Guy ROLLAND, François PIERRE, Roland PANTEL,
Serge BLONKOWSKI, Gérard PONTHENIER, Gérard TARTAVEL. Je remercie également
Brice GAUTIER du Laboratoire de Physique de la Matière pour les expériences d’AFM en
mode TUNA réalisées à l’INSA de Lyon.
Merci à tous ceux qui ont participé aux expériences d’EXAFS mises en œuvre à l’ESRF,
Xavier BIQUARD, Denis JALABERT, Guy ROLLAND, Emmanuel DEFAY, pour leur
investissement (nuit et jour, même le we !), leur bonne humeur. Même dans la nuit du samedi
au dimanche la science avance… Merci aussi à François RIEUTHORD pour les expériences
d’anode tournante également réalisées à l’ESRF.
Merci également à tous les membres des équipes AIC et LCRF pour les bons moments
partagées : Fanny et Ludivine (mes techniciennes de choc !), Aude, Alex (mon coloc de
bureau préféré), Robert (merci pour ton humour, tes réflexions pleines de bon sens et ta farine
bio…), Stéphan (pour ton humour aussi ?!), Amy (merci pour tout !), Greg, Sandrine (on l’a
fait !), Alex, Guillaume, Xavier et tous les autres (ne m’en veuillez pas si j’en oublie
certains)… Vous avez tous contribué à rendre ces trois années plus faciles.