Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Annexes
Annexe 7 : procédés d’élaboration mis en œuvre pour la
compréhension des variations de constantes diélectriques
La mesure de la largeur à mi-hauteur d’un pic de diffraction qui permet d’obtenir des données
sur la taille des cristallites et les contraintes internes dans un matériau nécessite un montage
particulier appelé mode 2θ-scan.
On part d’un montage classique θ-2θ en ajoutant des fentes très fines devant le
monochromateur arrière (après l’échantillon) afin de ne laisser passer que les photons
correspondant à un angle donné. On rappelle que le monochromateur et le capteur X sont
solidaires. Le monochromateur filtre la raie K du Cu par l’angle (Bragg) qu’il fait avec le
faisceau diffracté provenant de l’échantillon. Ce filtrage arrête la raie Kβ parfaitement mais
ne résout pas Kα1 et Kα2 car le monochromateur est courbe (cf Figure A7-1) (montage
focalisant Bragg-Brentano (cf Figure A7-2) permettant de gagner du signal au détriment de la
résolution sur la forme des pics) et présente une certaine mosaïcité qui laisse passer les 2
raies. Il faudra en tenir compte dans l’exploitation des résultats. Ce phénomène est bien connu
et se déconvolue aisément.
Figure A7-1 : Monochromateur arrière courbe.
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