Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 4 : Lien entre structure cristallographique et propriétés électriques
Les échantillons évoluent de la même façon lorsqu’ils sont recuits. Dans les deux cas, lorsque
l’on recuit le STO on a tendance à se rapprocher de l’environnement du Sr dans le cristal :
• Le nombre d’O ainsi que la distance Sr-O augmentent,
• La distance Sr-Ti augmente,
• Par contre le nombre de Ti diminue.
L’échantillon déposé à température ambiante et recuit à 300°C (juste avant la transition
faible/forte constante diélectrique) semble le plus proche du STO cristallin au niveau de la
structure. Les distances Sr-Ti sont même très proches (la différence se trouve dans
l’incertitude de mesure).
1.2.5. Analyse des échantillons cristallisés
En ce qui concerne les échantillons cristallisés on n’observe pas de différence selon la
température de dépôt (Figure 4-9). Les spectres d’absorption sont également très proches de
celui d’un échantillon de poudre de SrTiO3 provenant de la cible. Les oscillations du spectre
de la poudre sont juste un peu plus fines, ce qui signifie que le STO est mieux cristallisé dans
ce cas.
Figure 4-9 : Spectres d’absorption du Sr en fonction de l’énergie des photons X incidents pour les
échantillons recuits ainsi que l’échantillon de poudre provenant de la cible.
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