Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Annexes
Annexes
Annexe 1 : Plan d’expériences ....................................................................... 247
Annexe 2 : Conditions expérimentales de dépôt de STO et BTO ................... 250
Annexe 3 : Fiches JCPDS .............................................................................. 251
Annexe 4 : Exemple de résultats obtenus avec le logiciel LUMIERE............. 253
Annexe 5 : Montage Tower-Sawyer............................................................... 256
Annexe 6 : Procédés d’élaboration mis en œuvre pour la compréhension des
variations de constantes diélectriques............................................................. 258
246