Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
Tableau 3-1 : Valeurs limites des paramètres de dépôt pour STO et BTO
STO
BTO
Facteurs T VCP ICP VIAD IIAD Débit O2
Minimum 25°C 700 V 70 mA - - 0 sccm
Maximum 150°C 1800 V 160 mA - - 50 sccm
Minimum 25°C 1200 V 70 mA 200 V 20 mA 0 sccm
Maximum 150°C 1400 V 140 mA 400 V 40 mA 50 sccm
T est la température, VCP et ICP sont respectivement la tension de faisceau et le courant d’ions
du canon principal, VIAD et IIAD sont la tension de faisceau et le courant d’ions du canon
d’assistance, Débit O2 est le débit de dioxygène injecté dans le bâti.
Lors de la réalisation du plan chaque paramètre prendra une de ses valeurs extrêmes.
1.3. Description des plans d’expériences
Les plans d’expériences les plus simples sont appelés « plans factoriels complets 2 n ». La
notation 2 n signifie que chacun des n facteurs sera décrit par deux points expérimentaux.
Ainsi, si l’on spécifie un plan 2 2 , on suppose que :
où y est la grandeur étudiée,
y = a0 + a1 x1 + a2 x2 + a12 x1 x2 Équation 3-1
x1 et x2 sont les facteurs dont dépend la grandeur étudiée,
a0 = y(0,0) est la moyenne des quatre valeurs,
a1 est l’effet du facteur 1,
a2 est l’effet du facteur 2,
a12 est l’effet de l’interaction entre les deux facteurs.
On considère que les facteurs qui ne sont pas pris en compte ont un effet faible et sont non
contrôlés. La somme globale de toutes leurs contributions est décrite par une gaussienne dont
l’écart-type sera l’écart-type expérimental.
Un plan d’expériences factoriel complet 2 n repose donc sur la réalisation de 2 n
expérimentations, où chaque facteur prend les valeurs adimensionnées 1 ou –1 qui
correspondent aux limites des intervalles réels qui sont définies par l’expérimentateur. Chaque
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