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Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

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tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007<br />

Chapitre 2 : Elaboration <strong>de</strong> films <strong>minces</strong> <strong>de</strong> STO et BTO<br />

Figure 2-5 : Variation <strong>de</strong> la constante diélectrique <strong>de</strong> BaTiO 3 avec la taille <strong>de</strong> grain <strong>à</strong> température<br />

ambiante. [9]<br />

De nombreux auteurs ont montré l’influ<strong>en</strong>ce <strong>de</strong> la taille <strong>de</strong> grain sur la tétragonalité et les<br />

propriétés diélectriques <strong>de</strong> BaTiO3 [10-12]. Lorsque la taille <strong>de</strong> grain diminue, le rapport <strong>de</strong>s<br />

paramètres <strong>de</strong> mailles c/a représ<strong>en</strong>tatif <strong>de</strong> la tétragonalité diminue égalem<strong>en</strong>t, particulièrem<strong>en</strong>t<br />

pour <strong>de</strong>s tailles <strong>de</strong> grain inférieures <strong>à</strong> 0,2 µm comme le montre la Figure 2-6 [10]. On observe<br />

un décalage <strong>de</strong> la température <strong>de</strong> Curie vers <strong>de</strong>s températures plus basses et une diminution <strong>de</strong><br />

la constante diélectrique lorsque la taille <strong>de</strong> grain diminue.<br />

Figure 2-6 : Variation du rapport c/a (tétragonalité) <strong>en</strong> fonction <strong>de</strong> la taille <strong>de</strong> grain dans BaTiO3.[10]<br />

2.1.3. Influ<strong>en</strong>ce <strong>de</strong> la fréqu<strong>en</strong>ce<br />

Dans les matériaux ferroélectriques les domaines form<strong>en</strong>t <strong>de</strong>s dipôles très prononcés. Du fait<br />

<strong>de</strong> la vitesse <strong>de</strong> mouvem<strong>en</strong>t <strong>de</strong>s parois <strong>de</strong> domaines limitée, les ferroélectriques prés<strong>en</strong>t<strong>en</strong>t<br />

typiquem<strong>en</strong>t une dispersion <strong>de</strong> type relaxation <strong>de</strong> la partie réelle <strong>de</strong> la permittivité, ε’, dans la<br />

gamme <strong>de</strong>s micro-on<strong>de</strong>s les plus faibles, accompagnée d’un maximum dans les pertes.<br />

Dans le cas <strong>de</strong>s matériaux paraélectriques, on n’att<strong>en</strong>d pas <strong>de</strong> dispersion significative jusqu’au<br />

domaine infra-rouge où la polarisation ionique prés<strong>en</strong>te au moins une dispersion <strong>de</strong> type<br />

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