Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 4 : Lien entre structure cristallographique et propriétés électriques
Il semble donc difficile de conclure sur le mécanisme de cristallisation du STO. Toutefois une
étude a montré que la présence de l’électrode supérieure lors du recuit de cristallisation aidait
à la cristallisation en diminuant la température nécessaire à l’obtention de la phase pérovskite,
on peut donc penser que la croissance est colonnaire, les électrodes fournissant un ancrage
pour les grains.
Des analyses de microscopie électronique en transmission (MET) réalisées sur des
échantillons cristallisés confirment cette hypothèse. On observe en effet sur la Figure 4-15
présentant une observation MET de l’échantillon déposé à température ambiante et cristallisé,
que les joints de grains traversent toute la couche de STO. La croissance des grains semble
donc être colonnaire.
Joints de grains
Figure 4-15 : Observation MET de l’échantillon déposé à température ambiante cristallisé.
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