Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 6 : Capacités MIM STO/BTO
L’interface semble de mauvaise qualité. Grâce au contraste de diffraction obtenu sur les
images en champ clair, on observe clairement des cavités de forme triangulaire à l’interface
STO/Pt. Ces nombreuses cavités peuvent être à l’origine de la diminution de la constante
diélectrique et dénotent certainement une faible adhérence du diélectrique sur le Pt.
Des analyses en composition ont été réalisées sur les trois multicouches. Nous présentons ici
l’analyse concernant l’empilement composé de cinq bicouches (Figure 6-23). Elle montre la
régularité de la modulation chimique du multicouche.
Figure 6-23 : Cartographie de composition de l’empilement composé de 5 bicouches –
Ba en rouge et Sr en vert.
Une analyse quantitative est présentée en Figure 6-24, montrant les modulations du Ba et du
Sr dans l’empilement ainsi que le Pt d’électrode. Ce profil ne semble pas montrer
d’interdiffusion entre les différentes couches comme nous l’avions noté suite aux analyses
SIMS.
On observe que les pentes de droite du profil du BTO sont plus abruptes que celles de gauche.
On retrouve ainsi l’asymétrie morphologique des interfaces STO/BTO et BTO/STO observée
lors des analyses au MEB pour lesquelles on ne voyait pas l’interface STO/BTO.
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