Etude de capacités en couches minces à base d'oxydes métalliques ...

tel-00141132, version 1 - 11 Apr 2007
Chapitre 3 : Etude de capacités MIM à base de STO et BTO
présentées en Figure 3-12 pour les échantillons du plan et en Figure 3-13 en ce qui concerne
les expériences de reproductibilité.
constante diélectrique
120
100
80
60
40
20
3
4
5
6
8
9
10
11
0
0 100 200 300 400 500 600 700
Trecuit (°C)
Figure 3-12 : Evolution de la constante diélectrique des échantillons de STO du plan en fonction de la
température de recuit.
L’allure des courbes est la même que dans le cas du BTO :
• Pour les faibles températures de recuit on retrouve pour tous les échantillons la valeur
de la constante diélectrique du STO amorphe (≈18),
• suivi d’une transition au cours de laquelle la constante diélectrique augmente,
• pour finalement atteindre un palier.
La valeur maximale de la constante diélectrique relevée varie entre 80 pour l’échantillon n°3
et 107 pour l’échantillon n°11. Cette variation entre la constante diélectrique maximale la plus
élevée et la plus faible est moins grande que dans le cas du BTO.
En comparant les valeurs de la constante diélectrique on peut discerner deux groupes
d’échantillons :
• Un groupe présentant une constante diélectrique entre 80 et 85 (n°3, 4 et 5).
• Un groupe présentant une constante diélectrique entre 95 et 105 (n°6 à 11).
Cela pourrait traduire une dérive du bâti, toutefois les expériences de reproductibilité ne font
pas ressortir un tel comportement comme le montre la Figure 3-13. L’exploitation du plan
d’expériences va permettre d’identifier les paramètres influents.
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